[实用新型]一种防酸模具有效

专利信息
申请号: 201320172504.2 申请日: 2013-04-08
公开(公告)号: CN203225235U 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 唐涌耀 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 模具
【权利要求书】:

1.一种防酸模具,应用于半开封工艺中,其特征在于,所述防酸模具包括固定装置和多个挡板; 

每个所述挡板均通过所述固定装置与另外两个所述挡板相抵接触,形成一可伸缩的中心孔。 

2.根据权利要求1所述的防酸模具,其特征在于,所述防酸模具包括4个挡板,且所述中心孔的形状为矩形。 

3.根据权利要求1所述的防酸模具,其特征在于,各所述挡板分别向4个相反方向移动或同时进行整体性的单一方向移动。 

4.根据权利要求1所述的防酸模具,其特征在于,所述固定装置为矩形框架结构。 

5.根据权利要求1所述的防酸模具,其特征在于,所述固定装置的其中两个相邻边内侧设有刻度标尺,所述刻度标尺标注的最小距离为0.5mm。 

6.根据权利要求1所述的防酸模具,其特征在于,所述固定装置连接外部设备并固定。 

7.根据权利要求1所述的防酸模具,其特征在于,所述固定装置的的四个边角设置有螺纹孔,所述螺纹孔配备有螺栓。 

8.根据权利要求7所述的防酸模具,其特征在于,所述固定装置通过所述螺栓与所述挡板卡接。 

9.根据权利要求1所述的防酸模具,其特征在于,所述固定装置及挡板材质为防酸材料。 

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