[实用新型]一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种曝光机，尤其涉及一种具有自动对准系统的四曝光头的光学曝光机。 

背景技术

曝光机是一种通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将掩模板或其他透明体上的图像信息转移到有感光物质的表面上的设备。 

图1为一种现有的曝光机的示意图，请参见图1所示。包括有一机台11，在该机台11上设置有伸缩装置12，一固定座13固设在伸缩装置12上，并受伸缩装置12控制移动。一活动座14的四个角上分别通过一调整螺钉15设置在固定座13上，并可通过调整螺钉15来调节活动座14的高度。被曝光的工件16位于活动座14上，同时，在工件16的上方具有曝光头17，该曝光头17对工件16进行曝光。 

由于现有的活动座14通过调节螺钉15与固定座13连接，需通过调节调整螺钉15来对活动座14进行微调。在实际操作过程中，造成作业的繁琐，降低了曝光效率。 

图2为公开号CN201438259U的曝光机的示意图，请参见图2所示。包括一曝光平台21、两个第一线性滑轨22、至少一第二线性滑轨23、至少一光源组24、至少一第一驱动组件25，以及至少一第二驱动组件26。被曝光的加工物27固定在曝光平台21上，再透过光源组24沿着第二线性滑轨23，以及第二线性滑轨23沿着第一线性滑轨22位移的方式，让光源组24产生的曝光光源达到曝光平台21的预定区域，进而该曝光平台21上的加工物27进行曝光显影。 

该实用新型通过控制电路控制第一驱动组件25和第二驱动组件26，并控制第二线性滑轨23与光源组24的移动行程与移动速度。在实际使用过程 中，由于经常需要控制第二线性滑轨23和光源组24相对加工物27进行移动与XYθ方向调节，容易因移动产生的偏差导致曝光的不准确。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，以解决现有曝光机由于活动座与固定座通过调节螺钉连接，使得需要通过调节调整螺钉来对活动座进行微调，而导致操作的繁琐，以及现有曝光机由于经常需要控制第二线性滑轨和光源组相对加工物进行移动与XYθ方向调节，容易因移动产生的偏差导致曝光的不准确等的问题。 

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为： 

一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，包括用于被曝光的玻璃基板，其中， 

所述玻璃基板标有对准标记； 

一用于检测所述玻璃基板对准标记的定位工作台，所述玻璃基板的对准标记与所述定位工作台的固定标记对准； 

所述定位工作台具有电荷耦合元件（CCD）图像传感器以及与所述电荷耦合元件（CCD）图像传感器相互信号连接的处理器，所述电荷耦合元件（CCD）图像传感器读取所述玻璃基板的标记图像，并将图像传输至所述处理器，所述处理器控制所述定位工作台进行XYθ方向运动调节； 

所述光学曝光机包括位于所述玻璃基板上方的若干曝光头，所述曝光头正对所述玻璃基板； 

所述光学曝光机还包括用于传输所述玻璃基板至所述定位工作台的上料机构以及从所述定位工作台移除的下料机构。 

上述的一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其中，所述处理器包括图像采集模块和图像处理模块，所述图像采集模块将所述电荷耦合元件（CCD）图像传感器采集的所述玻璃基板的连续模拟图像信号转换成数字图像信号，并通过所述图像处理模块对数字图像信号进行运算处理，以提取所述玻璃基板标记图像的边缘。 

上述的一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其中，所述运算处理包括图像预处理、图像分割和图像匹配。 

上述的一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其中，所述图像预处理包括减少和滤除图像中的噪声和增强图像的边缘。 

上述的一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其中，所述曝光头的数量为四个。 

上述的一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其中，所述定位工作台包括固定座和活动座，所述处理器控制所述活动座相对所述固定座实现XYθ方向的运动调节，所述玻璃基板放置在所述活动座上。 

上述的一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，其中，所述上料机构和所述下料机构均为传动带，所述上料机构和所述下料机构靠近所述活动座。 

本实用新型由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是： 

（1）通过自动对准系统的使用，采用电荷耦合元件（CCD）图像传感器能够有效地将玻璃基板的标记图像转换成位置值，以补充由定位工作台进行XYθ方向的运动修正。