[实用新型]加湿装置有效
申请号: | 201320188391.5 | 申请日: | 2013-04-15 |
公开(公告)号: | CN203171418U | 公开(公告)日: | 2013-09-04 |
发明(设计)人: | 张文武 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加湿 装置 | ||
1.一种加湿装置,其特征在于,包括:液缸、进液管、进气管、第一供气管、第一排液管、漏壶、第二供气管以及第二排液管;其中,所述进液管、进气管以及第一排液管均与所述液缸的底部连接;所述第一供气管一端与所述液缸的顶部连接,另一端与所述漏壶的顶部连接;所述第二供气管与所述漏壶的顶部连接;所述第二排液管一端与所述漏壶的底部连接,另一端与所述第一排液管连接;所述液缸上设有多个传感器,所述进液管上设有进液管阀,所述进气管上设有进气管阀,所述第一排液管上设有排液管阀。
2.如权利要求1所述的加湿装置,其特征在于,所述漏壶上设有传感器。
3.如权利要求2所述的加湿装置,其特征在于,所述漏壶上设有一个传感器。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的加湿装置,其特征在于,所述漏壶的容量范围是10毫升~3升。
5.如权利要求1所述的加湿装置,其特征在于,所述第一供气管上设有流量计。
6.如权利要求1所述的加湿装置,其特征在于,所述第一排液管上还设有第一止回阀。
7.如权利要求1所述的加湿装置,其特征在于,所述第二排液管设有第二止回阀。
8.如权利要求1所述的加湿装置,其特征在于,所述第二排液管的管径是1/12英寸或1/10英寸。
9.如权利要求1所述的加湿装置,其特征在于,所述液缸上设有四个传感器。
10.如权利要求1所述的加湿装置,其特征在于,所述液缸上设有加热膜。
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