[实用新型]四氟乙烯硅棒腐蚀装置有效
| 申请号： | 201320191697.6 | 申请日： | 2013-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN203203860U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 魏文昌;穆玥;胡俊辉;翁博丰;邓丽;程远梅;尹敏 | 申请（专利权）人： | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 乙烯 腐蚀 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种四氟乙烯硅棒腐蚀装置，它包括：二个腐蚀槽(1)和一个样棒篮(2)组成，其特征在于：腐蚀槽(1)为长方体结构，底面和四个侧面密封，上面敞开；样棒篮(2)长方体结构，底面和三个侧面密封，上面和一个侧面敞开，样棒篮(2)的底面全部为孔板，孔密度10000个/m2，样棒篮(2)的三个侧面从底部到高度2mm位置为孔板，上方为实板。
2.如权利要求1所述的四氟乙烯硅棒腐蚀装置，其特征在于：样棒篮(2)的实板为四氟乙烯材质，孔板为四氟乙烯材质。
3.如权利要求1所述的四氟乙烯硅棒腐蚀装置，其特征在于：样棒篮(2)上设计提手，提手为半圆棒，提手安装在侧面实板位置，提手高度6cm。
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