[实用新型]四氟乙烯硅棒腐蚀装置

说明书

一、技术领域

本实用新型涉及一种四氟乙烯硅棒腐蚀装置，是一种用于制备单晶检验棒之前腐蚀处理器具。

二、背景技术

检测多晶硅成品特性必要将其制备为单晶硅。用于制备单晶检验棒的多晶套料硅棒必须要经过化学腐蚀清洗，洗去表面氧化层和附带金属杂质。其制备出的单晶检验棒才能较好的还原多晶成品的特性。目前就多晶硅套料的形状看，并没有专用的腐蚀器具。

腐蚀器具要求材质要和腐蚀用酸不发生反应。目前有的水晶槽符合不与硝酸和氢氟酸反应的特点。但其缺点是造价高且材质精脆，容易碎裂，使用寿命短。腐蚀后的样棒要求要尽量短时间暴露在空气中以免造成氧化。但由于样品形状的特殊性现在并没有专门将腐蚀好的样品取出的器具，这样就加大了取出样棒的难度。所以根据样品的特点，设计一套样品腐蚀的专用器具是很必要的。

三、实用新型的内容

本实用新型的目的是提供一种四氟乙烯硅棒腐蚀装置，其成本低，材质硬度大，使用寿命长，可操作性强。

本实用新型的目的是这样来实现的：一种四氟乙烯硅棒腐蚀装置，它包括：二个腐蚀槽和一个样棒篮组成，腐蚀槽为长方体结构，底面和四个侧面密封，上面敞开；样棒篮长方体结构，底面和三个侧面密封，上面和一个侧面敞开，样棒篮的底面全部为孔板，孔密度10000个/m²，样棒篮的三个侧面从底部到高度2mm位置为孔板，上方为实板；所述的样棒篮的实板为四氟乙烯材质，孔板为四氟乙烯材质，样棒篮上设计提手，提手为半圆棒，提手安装在侧面实板位置，提手高度6cm。

本实用新型设计一种四氟乙烯硅棒腐蚀套装，经实际使用验证，其具有低损耗，使用寿命长，可操作性强等优点。

四、附图说明

附图1为本实用新型腐蚀槽的结构示意图。

附图2为本实用新型样棒篮的结构示意图。

其中：

1----腐蚀槽、2----样棒篮、3----孔板、4----提手、5----实板。

五、具体实施方式

下面结合附图及实施例来对本实用新型作进一步详细描述：

参照附图，本实用新型一种四氟乙烯硅棒腐蚀装置，它包括：二个腐蚀槽1和一个样棒篮2组成，腐蚀槽1为长方体结构，底面和四个侧面密封，上面敞开；样棒篮2长方体结构，底面和三个侧面密封，上面和一个侧面敞开，二个腐蚀槽一个用来化学腐蚀，另一个用来腐蚀之后的高纯水清洗。样棒篮2的底面全部为孔板3，孔密度10000个/m²，样棒篮2的三个侧面从底部到高度2mm位置为孔板3，上方为实板5，样棒篮2用于将腐蚀好的样棒从化学腐蚀腐蚀槽中取出再放入高纯水清洗腐蚀槽中，再将高纯水清洗完成后的硅棒取出所述的样棒篮2的实板5为四氟乙烯材质，孔板3为四氟乙烯材质，样棒篮2上设计提手，提手4为半圆棒，提手4安装在侧面实板位置，提手高度6cm。

进行腐蚀操作的时候要在化学腐蚀腐蚀槽中加入混合酸，高纯水清洗腐蚀槽中加入高纯水。将待腐蚀套料样棒放入样棒篮中，再抓住提手将其整个放入加入混合酸的腐蚀槽中进行腐蚀操作。腐蚀完成后再抓住提手将其整个提出混合酸再放入高纯水清洗腐蚀槽中进行清洗。整个过程的液体都通过样棒篮底的侧面的孔板结构漏入或者漏出。