[实用新型]一种石墨舟电极孔方向识别装置有效
申请号: | 201320201284.1 | 申请日: | 2013-04-19 |
公开(公告)号: | CN203222619U | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 李建朋;高奎;张术军;石亚芬;郑志勇 | 申请(专利权)人: | 天津英利新能源有限公司 |
主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 电极 方向 识别 装置 | ||
1.一种石墨舟电极孔方向识别装置,其特征在于,包括安装于机械手(1)上的第一感应元件(21)、安装于上舟耳(3)且与所述第一感应元件(21)相匹配的第二感应元件(22),和与两感应元件信号连接的显示单元(23),所述显示单元(23)接收两所述感应元件在所述石墨舟正放和反置时产生的相异的感应信号,并根据所述感应信号做出显示。
2.根据权利要求1所述的石墨舟电极孔方向识别装置,其特征在于,所述第一感应单元为触压传感器,所述触压传感器设置于所述机械手(1)远离所述炉管的一侧,所述第二感应元件(22)形成于所述上舟耳(3)远离电极孔(31)一侧的表面;所述上舟耳(3)具有所述电极孔(31)一侧开设有凹槽(32),所述凹槽(32)与所述第一感应元件(21)在所述石墨舟倒置时相对。
3.根据权利要求1所述的石墨舟电极孔方向识别装置,其特征在于,所述第一感应元件(21)包括第一触压传感器(211)和第二触压传感器(212),所述第一触压传感器(211)设置于所述机械手(1)远离所述炉管的一侧,所述第二触压传感器(212)设置于所述机械手(1)靠近所述炉管的一侧,所述第二感应元件(22)形成于所述上舟耳(3)的表面;所述上舟耳(3)具有电极孔(31)一侧开设有凹槽(32),所述凹槽(32)与所述第一触压传感器(211)在所述石墨舟反置时相对。
4.根据权利要求3所述的石墨舟电极孔方向识别装置,其特征在于,所述第一触压传感器(211)与所述第二传感器分别设置于所述机械手(1)的同一端。
5.根据权利要求4所述的石墨舟电极孔方向识别装置,其特征在于,还包括第三触压传感器(213),所述第三触压传感器(213)与所述第一触压传感器(211)设置于所述机械手(1)的同一侧。
6.根据权利要求1所述的石墨舟电极孔方向识别装置,其特征在于,所述第一感应元件(21)和所述第二感应元件(22)均为光感元件。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的