[实用新型]一种石墨舟电极孔方向识别装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能应用设备技术领域，特别涉及一种石墨舟电极孔方向识别装置。

背景技术

随着世界范围内能源危机的爆发，风力和太阳能等可再生能源得到越来越广泛的应用，从而带动了可再生能源发电系统的蓬勃发展。在众多的可再生能源中，太阳能分布较为广泛，且从我国的地理分布情况来看，我国大部分地区的太阳能辐射量都比较丰富，因此，太阳能的开发和应用更为便捷。

太阳能电池是人们利用太阳能的一种主要方式，其主要部件是太阳能电池。PECVD（即等离子体增强化学气相沉积）工艺是太阳能电池制造过程中重要的环节，管式PECVD设备是普遍使用的一种进行PECVD工艺的设备。典型管式PECVD设备的工艺管内部有两根电极，承载硅片的石墨舟在管式PECVD设备的桨叶的带动下可以使石墨舟的电极孔与电极吻合，继而进行PECVD工艺。

由于石墨舟只有一侧设有电极孔，因此在向管式PECVD设备的桨叶上加载石墨舟时，必须要求石墨舟的电极孔方向朝向炉管尾部方向；如果方向放反，设备无法发现异常，最终导致电极孔与电极无法吻合，导致工艺无法正常进行，甚至损坏电极。目前，通常通过人工确认石墨舟的安装方向，人工控制的可靠性较低，操作人员难免发生失误，石墨舟反置的现象时有发生，严重影响了工艺的正常进行。

因此，提供一种石墨舟电极孔方向的自动识别装置，利用自动控制方式取代人工，以提高识别可靠性，保证加工工艺的顺利进行，就成为本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种石墨舟电极孔方向识别装置，其能够自动识别放置石墨舟时其电极孔的方向，从而利用自动控制方式取代了人工，提高了识别可靠性，保证了加工工艺的顺利进行。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种石墨舟电极孔方向识别装置，包括安装于机械手上的第一感应元件、安装于上舟耳且与所述第一感应元件相匹配的第二感应元件，和与两感应元件信号连接的显示单元，所述显示单元接收两所述感应元件在所述石墨舟正放和反置时产生的相异的感应信号，并根据所述感应信号做出显示。

优选地，所述第一感应单元为触压传感器，所述触压传感器设置于所述机械手远离所述炉管的一侧，所述第二感应元件形成于所述上舟耳远离电极孔一侧的表面；所述上舟耳具有所述电极孔一侧开设有凹槽，所述凹槽与所述第一感应元件在所述石墨舟倒置时相对。

优选地，所述第一感应元件包括第一触压传感器和第二触压传感器，所述第一触压传感器设置于所述机械手远离所述炉管的一侧，所述第二触压传感器设置于所述机械手靠近所述炉管的一侧，所述第二感应元件形成于所述上舟耳的表面；所述上舟耳具有电极孔一侧开设有凹槽，所述凹槽与所述第一触压传感器在所述石墨舟反置时相对。

优选地，所述第一触压传感器与所述第二传感器分别设置于所述机械手的同一端。

优选地，还包括第三触压传感器，所述第三触压传感器与所述第一触压传感器设置于所述机械手的同一侧。

优选地，所述第一感应元件和所述第二感应元件均为光感元件。

本实用新型所提供的石墨舟电极孔方向识别装置包括第一感应元件、与第一感应元件相匹配的第二感应元件和显示元件，其中，第一感应元件安装在机械手上，第二感应元件安装在上舟耳上，显示单元与两感应元件信号连接，所述显示单元接收两所述感应元件在所述石墨舟正放和反置时产生的相异的感应信号，并根据所述感应信号做出显示。在石墨舟加载过程中，机械手卡住石墨舟两侧的上舟耳带动石墨舟运动，石墨舟正放时第一感应元件和第二感应元件产生的信号不同，显示单元显示的信号即不相同，工作人员能够根据两感应元件的预设位置判断石墨舟的放置位置是否正确，能够通过自动识别放置石墨舟时其电极孔的方向，从而利用自动控制方式取代了人工，提高了识别可靠性，保证了加工工艺的顺利进行。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的第一感应元件包括第一触压传感器和第二触压传感器，第一触压传感器设置于机械手远离炉管的一侧，即远离上舟耳设有电极孔的一侧，第二触压传感器设置于机械手靠近所述炉管的一侧，即靠近上舟耳设有电极孔的一侧，第二感应元件形成于上舟耳的表面；上舟耳具有电极孔一侧开设有凹槽，凹槽与第一触压传感器在所述石墨舟反置时相对。