[实用新型]一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件有效
| 申请号： | 201320202453.3 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN203241090U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 石兆奇;杨亮 | 申请（专利权）人： | 西安鼎研科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 组分 气体 红外 流量传感器 流量 检测 器件 | ||
1.一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，其特征在于：包括测量气室（10），及设置于测量气室（10）前端的红外光源（6）和尾端的接收气室；所述测量气室（10）前端红外光源（6）与测量气室（10）腔室之间设置有1#光学窗口（5），1#光学窗口（5）垂直连接一切光片（8），切光片（8）连接有切光片马达（7）；所述测量气室（10）腔室侧壁设置有进气口（9）和出气口（11）；所述测量气室（10）尾端接收气室设置有两个光学窗口，接收气室上设置有钨丝微流量传感器（1）。
2.根据权利要求1所述的用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，其特征在于：所述测量气室（10）尾端的接收气室分别为第一层接收气室（4）和第二层接收气室（3），所述第一层接收气室（4）内侧设置有2#光学窗口（12），第二层接收气室（3）内侧设置有3#光学窗口（13）。
3.根据权利要求2所述的用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，其特征在于：所述第一层接收气室（4）和第二层接收气室（3）侧壁上分别设有毛细管气流通道（2），钨丝微流量传感器（1）设置在所述毛细管气流通道（2）出口端。
4.根据权利要求1所述的用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，其特征在于：所述钨丝微流量传感器（1）为两级螺线结构，以单根线径20微米的钨丝按照螺旋线结构绕制成直径为0.1毫米以下的微螺旋体，以所述微螺旋体为基础，再按照螺旋线结构绕制成直径至1毫米的二级螺旋体。
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