[实用新型]一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件

说明书

技术领域

本实用新型属于气体红外微流量传感器用检测器件，特别是一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件。

背景技术

目前，多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件通常采用平面格栅状的电阻丝，虽然该结构的电阻丝能够有效地利用微量气流进行测量，但其加工难度大，一次性投入大，产品研发周期长，成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，该器件通过利用两级螺旋钨丝的两级螺线管道结构作为微流量检测器件，两级螺线结构的钨丝制造成本低，大大降低了红外微流量传感器的制造成本和研发成本。

本实用新型的目的是通过下述技术方案来实现的：

一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，包括测量气室，及设置于测量气室前端的红外光源和尾端的接收气室；所述测量气室前端红外光源与测量气室腔室之间设置有1#光学窗口，1#光学窗口垂直连接一切光片，切光片连接有切光片马达；所述测量气室腔室侧壁设置有进气口和出气口；所述测量气室尾端接收气室设置有两个光学窗口，接收气室上设置有钨丝微流量传感器。

进一步地，所述测量气室尾端的接收气室分别为第一层接收气室和第二层接收气室，所述第一层接收气室内侧设置有2#光学窗口，第二层接收气室内侧设置有3#光学窗口。

进一步地，所述第一层接收气室和第二层接收气室侧壁上分别设有毛细管气流通道，钨丝微流量传感器设置在所述毛细管气流通道出口端。

进一步地，所述钨丝微流量传感器为两级螺线结构，以单根线径20微米的钨丝按照螺旋线结构绕制成直径为0.1毫米以下的微螺旋体，以所述微螺旋体为基础，再按照螺旋线结构绕制成直径至1毫米的二级螺旋体。

本实用新型的特点在于：

（1）于钨丝的两级螺线结构可以有效地收敛钨丝长度，在毛细孔外允许的空间范围内，使钨丝达到要求的电阻特性；

（2）钨丝的两级螺线结构成倍增加了器件与气流接触的表面积，使钨丝对气流的敏感度也有相应的增强，从而达到作为微流量检测器件技术要求；

（3）作为微流量检测器件，两级螺线结构的钨丝制造成本低，大大降低了红外微流量传感器的制造成本，和研发成本。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

图2是两级螺线结构钨丝微流量传感器结构示意图。

图中：1－钨丝微流量传感器，2－毛细管气流通道，3－第二层接收气室，4－第一层接收气室，5－1#光学窗口，6－红外光源，7－切光片马达，8－切光片，9—进气口，10－测量气室，11－出气口，12－2#光学窗口，13－3#光学窗口。

具体实施方式

如图1所示，该用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，包括测量气室10，及设置于测量气室10前端的红外光源6和尾端的接收气室，其中，测量气室10前端红外光源6与测量气室10腔室之间设置有1#光学窗口5，1#光学窗口5垂直连接有一切光片8，切光片8连接有切光片马达7。测量气室10腔室侧壁设置有进气口9和出气口11。测量气室10尾端接收气室设置有两个光学窗口，分别为2#光学窗口12和3#光学窗口13，2#光学窗口12设置在第二层接收气室3的内侧，3#光学窗口13设置在第一层接收气室4内侧。尾端的接收气室分别为第一层接收气室4和第二层接收气室3；第一层接收气室4和第二层接收气室3侧壁上分别设有毛细管气流通道2，在所述毛细管气流通道2出口端设置有钨丝微流量传感器1。

如图2所示，钨丝微流量传感器1为两级螺线结构，以单根线径20微米的钨丝为基础材料，加工绕制成直径为0.1毫米以下的微螺旋结构体，以这种微螺旋结构体为基础，再绕制成直径至1毫米的二级螺旋体。

本实用新型采取了将两级螺线结构的钨丝微流量传感器设置在测量气室的毛细管气流通道上，由于采取了两级螺线结构，可以有效地收敛钨丝长度，在毛细孔外允许的空间范围内，使钨丝达到要求的电阻特性；成倍增加了器件与气流接触的表面积，使钨丝对气流的敏感度也有相应的增强；大大降低了红外微流量传感器的制造成本和研发成本。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施方式仅限于此，对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单的推演或替换，都应当视为属于本实用新型由所提交的权利要求书所确定的专利保护范围。