[实用新型]修复装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种修复装置，特别是涉及一种利用激光对基板的缺陷进行修正的修复装置。

背景技术

以往，存在一种利用激光对基板的缺陷进行修正的修复装置。修复装置被利用在通过制造工序制造出的各种基板的图案的缺陷修正等中。被修正的基板是所谓的平板显示器(FPD：Flat Panel Display)基板、半导体晶圆、印刷电路板等。在所谓的平板显示器(FPD)基板中例如存在液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display)基板、等离子体显示板(PDP：Plasma Display Panel)基板、有机EL(Electroluminescence：电致发光)显示器基板等。

在利用修复装置进行修正的缺陷中存在进行了抗蚀剂图案、蚀刻图案等的图案形成处理后的布线图案的短路不良等缺陷。修复装置通过照射激光来能够切断短路部分。

另外，在修复装置中存在狭缝投影方式、使激光会聚到一点的方式等各种加工方式的修复装置。例如，存在如下一种面加工方式的修复装置：为了切断多余的抗蚀剂膜，通过对修正部分照射具有与切断部分的形状相应的截面形状的激光，能够以任意的形状修正缺陷。

在这种面加工方式的修复装置中，存在如下一种修复装置：为了使激光的截面形状与切断部分的形状一致，该修复装置使用以矩阵状排列多个微镜而形成的数字微镜器件(Digital Mirror Device：以下简称为DMD)单元等的空间光调制元件。通过控制多个微镜中的一部分微镜的角度后对DMD照射来自激光光源的激光，能够将激光的截面形状整形为期望的形状。面加工方式的修复装置以面形状来照射激光，因此使用于去除或切断抗激光损伤能力差的物质的情况。

另外，还存在如下一种聚光点加工方式的修复装置：在去除抗激光损伤能力强的金属等异物的情况下，为了照射高能量，以聚光点对修正部分照射激光来能够修正缺陷。

缺陷中包括超出规定的图案形状的抗蚀剂部分等的能够利用面加工方式的修复装置进行修正的缺陷、和金属等异物的能够利用聚光点加工方式的修复装置进行修正的缺陷。以往，在面加工方式的修复装置和聚光点加工方式的修复装置的各装置中，检查者观察缺陷部分的状态来进行修正。

作为与这种修复装置相关的技术，例如存在如下一种缺陷修正的技术：如日本特开2007-109981号公报所公开的那样，在使监视器显示缺陷部分来由操作员判断是否需要进行缺陷修正，操作员针对判断为需要进行修正的缺陷设定加工条件等。

另外，在日本特开2011-85821号公报中公开了如下一种技术：根据针对基板上的图案获取到的缺陷图像与参考图像的差分信息以及预先登记的区域信息来检测缺陷，基于检测出的缺陷来决定修正方法。

但是，如上述面加工方式的修复装置和聚光点加工方式的修复装置那样，加工方式不同的修复装置是独立的装置，以往，检查者使监视器显示缺陷部位并判断缺陷，与该缺陷相应地输送到各个装置来进行缺陷修正，因此存在制造工序的生产节拍(Takt time)变长的问题。

在上述日本特开2007-109981号公报和日本特开2011-85821号公报所公开的装置中，各个装置所能执行的加工方式被限定为一种，各个装置不能从如上所述的面加工方式和聚光点加工方式这样的多个加工方式中选择最适合的加工方式来执行。因而，利用各修复装置所能修正的缺陷的种类受到限制，导致制造工序的生产节拍变长。

本实用新型是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种如下的修复装置：能够根据缺陷的种类设定多个加工方式中的最适合的加工方式以及设定加工条件，来对基板进行缺陷修正。

实用新型内容

根据本实用新型的第一方式，提供一种修复装置，其特征在于，具备：激光光源装置，其射出多个波长的激光；观察光学系统，其用于观察利用上述激光进行缺陷修正的基板；至少两个激光照射光学系统；激光光路切换部，其将上述激光入射的光路切换为上述至少两个激光照射光学系统中的某一个；摄像部，其接收来自上述观察光学系统的光来拍摄上述基板；缺陷检测部，其通过图像处理从通过上述摄像部拍摄得到的图像检测上述基板的缺陷部分；加工条件设定部，其针对上述缺陷部分的每个加工区域设定加工方式和加工条件；以及控制部，其控制上述激光光源装置和上述激光光路切换部，使得基于针对每个上述加工区域设定的上述加工方式和上述加工条件对上述基板进行加工。