[实用新型]太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备

权利要求书

1.一种太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：包括机架、硅片传送机构（1）、激光发生装置、荧光成像模块（3）和图像采集-处理模块（4），所述激光发生装置、至少一个荧光成像模块（3）和图像采集-处理模块（4）分别固设于机架上，硅片传送机构（1）能够输送待检测硅片到达检测位置，激光发生装置能够发射垂直于硅片运动方向的激光线并照射检测位置的待检测硅片，荧光成像模块（3）能够对检测位置的硅片发出的荧光信号进行探测并传信于图像采集-处理模块（4）进行分析和处理。

2.如权利要求1所述的太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：所述激光发生装置包括激光线照明模块（2）和光纤耦合半导体激光器（6），激光线照明模块（2）和光纤耦合半导体激光器（6）通过光纤输出头（7）相连接，激光线照明模块（2）能够将光纤输出头（7）输出的激光整形为超细、高均匀激光线。

3.如权利要求1所述的太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备,其特征是：所述激光线照明模块（2）包括沿光线方向依次排列的球面准直透镜组（11）、二向色镜（12）、柱面镜阵列（13）、负柱面镜（14）、第一正柱面镜（15）、第二正柱面镜（16）、柱面镜组（17），其中负柱面镜（14）、柱面镜组（17）与柱面镜阵列（13）、第一正柱面镜（15）、第二正柱面镜（16）的面型方向垂直。

4.如权利要求3所述的太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：所述激光线照明模块（2）和荧光成像模块（3）均放置于没有光线的暗室（8）中，该暗室（8）侧壁上设有供硅片传送机构（1）带动硅片（5）进出暗室（8）的狭缝（9）。

5.如权利要求2所述的太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：所述激光线照明模块（2）和荧光成像模块（3）位于硅片传送机构（1）同侧或者异侧。

6.如权利要求1所述的太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：所述荧光成像模块（3）包括依次排列设置的线扫描InGaAs相机（18）、成像镜头（19）和滤光片（20）。

7.如权利要求6所述的太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：所述线扫描InGaAs相机（18）所配置的线扫描InGaAs图像探测器（21）像素高度大于像素宽度。

8.如权利要求6所述的太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：所述荧光成像模块（3）中还设有用于切换不同滤光片（20）的滤光片切换装置（22）。

9.如权利要求1所述的太阳能硅片高速线扫描光致荧光成像检测设备，其特征是：还设有硅片少子寿命测量模块（23），该硅片少子寿命测量模块能够对样品荧光图像进行校准。