[实用新型]电弧镀膜机用的门式弧挡板有效
申请号: | 201320249125.9 | 申请日: | 2013-05-09 |
公开(公告)号: | CN203333746U | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电弧 镀膜 门式弧 挡板 | ||
1.电弧镀膜机用的门式弧挡板,其特征在于,包括弧挡板和旋转驱动机构,弧挡板设于弧靶上下两侧的容器下板和容器顶板之间,弧挡板的一端与穿过容器下板的旋转驱动机构连接,弧挡板的另一端与容器顶板连接;弧挡板的转动角度为0~90°。
2.根据权利要求1所述电弧镀膜机用的门式弧挡板,其特征在于,所述弧挡板包括旋转连杆和挡板,挡板一侧与旋转连杆固定连接,旋转连杆一端通过轴套与旋转驱动机构连接,旋转连杆的另一端通过定位套与容器顶板连接。
3.根据权利要求2所述电弧镀膜机用的门式弧挡板,其特征在于,所述旋转驱动机构包括旋转气缸和输入轴,输入轴的一端与旋转气缸的输出端连接,输入轴的另一端通过轴套与旋转连杆连接。
4.根据权利要求3所述电弧镀膜机用的门式弧挡板,其特征在于,所述输入轴穿过容器下板,输入轴的外周通过轴承与输入座连接,输入座的外周通过固定座与与容器下板连接。
5.根据权利要求4所述电弧镀膜机用的门式弧挡板,其特征在于,所述输入座的外端面设有输入座盖板,输入座盖板的外端面设有与气缸固定连接的气缸支架。
6.根据权利要求3所述电弧镀膜机用的门式弧挡板,其特征在于,所述输入轴通过联轴器与旋转气缸的输出端连接。
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