[实用新型]电弧镀膜机用的门式弧挡板有效
申请号: | 201320249125.9 | 申请日: | 2013-05-09 |
公开(公告)号: | CN203333746U | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电弧 镀膜 门式弧 挡板 | ||
技术领域
本实用新型涉及玻璃镀膜设备领域,特别涉及一种电弧镀膜机用的门式弧挡板。
背景技术
在电弧镀膜机中,弧靶开始引弧时,由于弧靶表面通常带有杂质,且弧源未稳定,所以溅射出来的颗粒一般较大且带有杂质,若直接对工件进行镀膜,则无法得到纯净、均匀的膜层。因此,目前的电弧镀膜机中一般设有弧挡板,弧靶开始引弧时,关上弧挡板,使其挡住工件,防止弧源溅射到工件上,待弧源稳定后,再打开弧挡板,对工件进行镀膜,从而使工件表面得到纯净、均匀的膜层。然而,现有的弧挡板一般为轨道式结构,即通过在电弧镀膜机内设置弧形轨道,弧挡板沿着弧形轨道来回运行实现启闭,但在实际应用中,该结构的弧挡板占用空间较大,也易卡死,使得电弧镀膜机的故障率较高,影响其生产效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种运行稳定、占用空间较小的电弧镀膜机用的门式弧挡板。
本实用新型的技术方案为:一种电弧镀膜机用的门式弧挡板,包括弧挡板和旋转驱动机构,弧挡板设于弧靶上下两侧的容器下板和容器顶板之间,弧挡板的一端与穿过容器下板的旋转驱动机构连接,弧挡板的另一端与容器顶板连接;弧挡板的转动角度为0~90°。
所述弧挡板包括旋转连杆和挡板,挡板一侧与旋转连杆固定连接,旋转连杆一端通过轴套与旋转驱动机构连接,旋转连杆的另一端通过定位套与容器顶板连接。
所述旋转驱动机构包括旋转气缸和输入轴,输入轴的一端与旋转气缸的输出端连接,输入轴的另一端通过轴套与旋转连杆连接。
所述输入轴穿过容器下板,输入轴的外周通过轴承与输入座连接,输入座的外周通过固定座与与容器下板连接。
所述输入座的外端面设有输入座盖板,输入座盖板的外端面设有与气缸固定连接的气缸支架。
所述输入轴通过联轴器与旋转气缸的输出端连接。
本电弧镀膜机用的门式弧挡板使用时,其原理是:当弧靶开始引弧时,关上门式弧挡板,使其挡住工件,防止弧源溅射到工件上,待弧源稳定后,再打开门式弧挡板,对工件进行镀膜,从而使工件表面得到纯净、均匀的膜层;该过程中,门式弧挡板的启闭通过旋转气缸进行驱动,即旋转气缸动作,利用联轴器带动输入轴转动,从而带动弧挡板转动,弧挡板的转动范围为0~90°。
本实用新型相对于现有技术,具有以下有益效果:
本电弧镀膜机用的门式弧挡板与传统的弧挡板相比较,省去了弧形轨道,弧挡板的运动方式也不相同。本门式弧挡板通过气缸和输入轴带动弧挡板转动,从而实现弧挡板的启闭,其结构比传统弧挡板更简单,尤其适合于高温烘烤的设备,在电弧镀膜机内所占的空间也较小,因弧挡板与气缸是直接传动结构,可使设备结构更紧凑,同时弧挡板的运行也顺畅稳定,有效避免了弧挡板卡住的现象,降低设备的故障率,提高电弧镀膜机的生产效率。
附图说明
图1为本电弧镀膜机用的门式弧挡板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图,对本实用新型作进一步的详细说明,但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例
本实施例一种电弧镀膜机用的门式弧挡板,如图1所示,包括弧挡板和旋转驱动机构,弧挡板设于弧靶上下两侧的容器下板和容器顶板之间,弧挡板的一端与穿过容器下板的旋转驱动机构连接,弧挡板的另一端与容器顶板连接;弧挡板的转动角度为0~90°。
弧挡板包括旋转连杆1和挡板2,挡板一侧与旋转连杆固定连接,旋转连杆一端通过轴套3与旋转驱动机构连接,旋转连杆的另一端通过定位套4与容器顶板5连接。其中,旋转连杆的长度和挡板的大小均可根据电弧镀膜机的实际需要进行灵活调整。
旋转驱动机构包括旋转气缸6和输入轴7,输入轴的一端与旋转气缸的输出端连接,输入轴的另一端通过轴套与旋转连杆连接。
输入轴7穿过容器下板8,输入轴的外周通过轴承与输入座9连接,输入座的外周通过固定座10与与容器下板8连接。
输入座9的外端面设有输入座盖板11,输入座盖板11的外端面设有与气缸6固定连接的气缸支架12。
输入轴7通过联轴器13与旋转气缸6的输出端连接。
本电弧镀膜机用的门式弧挡板使用时,其原理是:当弧靶开始引弧时,关上门式弧挡板,使其挡住工件,防止弧源溅射到工件上,待弧源稳定后,再打开门式弧挡板,对工件进行镀膜,从而使工件表面得到纯净、均匀的膜层;该过程中,门式弧挡板的启闭通过旋转气缸进行驱动,即旋转气缸动作,利用联轴器带动输入轴转动,从而带动弧挡板转动,弧挡板的转动范围为0~90°。
如上所述,便可较好地实现本实用新型,上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例,并非用来限定本实用新型的实施范围;即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰,都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
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