[实用新型]晶粒选取设备

权利要求书

1.一种晶粒选取设备，其特征在于包含有：

一位移装置；

一软性薄膜，呈实质上平行于一第一轴向及一第二轴向的姿态，并能受所述位移装置带动沿所述第一轴向及所述第二轴向二者至少其中之一位移地设置于所述位移装置，所述软性薄膜具有朝向相反方向的一第一表面及一第二表面，所述第一表面用于黏设多个晶粒；

一影像撷取装置，设置于能拍摄各所述晶粒的位置；

一黏性薄膜，与所述软性薄膜相对固定，且所述黏性薄膜具有一黏贴面，所述黏贴面面对所述软性薄膜的第一表面；

一顶推装置，具有一与所述软性薄膜的第二表面相对的顶推件，通过所述顶推件隔着所述软性薄膜顶推一所述晶粒，进而使所述受顶推的晶粒黏附于所述黏性薄膜的黏贴面。

2.如权利要求1所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述顶推装置的顶推件通过沿一垂直于所述第一轴向及所述第二轴向的第三轴向移动而顶推所述软性薄膜。

3.如权利要求1或2所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述黏性薄膜能透光，使所述影像撷取装置能隔着所述黏性薄膜拍摄各所述晶粒。

4.如权利要求3所述的晶粒选取设备，其特征在于：还包含有一与所述软性薄膜的第二表面相对的照明装置，且所述软性薄膜能透光。

5.一种晶粒选取设备，其特征在于包含有：

一位移装置；

一软性薄膜，呈实质上平行于一第一轴向及一第二轴向的姿态，并能受所述位移装置带动而沿所述第一轴向及所述第二轴向二者至少其中之一位移地设置于所述位移装置，所述软性薄膜具有朝向相反方向的一第一表面及一第二表面，所述第一表面用于黏设多个晶粒；

一黏性薄膜，能透光且具有朝向相反方向的一黏贴面及一抵靠面，所述黏贴面面对所述软性薄膜的第一表面；

一顶推装置，具有一与所述软性薄膜的第二表面相对的顶推件，通过所述顶推件隔着所述软性薄膜顶推一所述晶粒，进而使所述受顶推的晶粒黏附于所述黏性薄膜的黏贴面；

一影像撷取装置，设置于能隔着所述黏性薄膜拍摄各所述晶粒的位置；

一支撑装置，具有一能摆动的摆臂，以及一设置于所述摆臂并能被所述摆臂带动至一作用位置的支撑件，所述支撑件位于所述作用位置时与所述黏性薄膜的抵靠面相对且对应于所述顶推件，以供受所述顶推件顶推的晶粒隔着所述黏性薄膜抵靠于所述支撑件。

6.如权利要求5所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述支撑装置的摆臂绕一实质上垂直于所述第一轴向及所述第二轴向的第三轴向摆动，且所述顶推装置的顶推件及所述支撑装置的支撑件能分别沿所述第三轴向地移动。

7.如权利要求5或6所述的晶粒选取设备，其特征在于：还包含有一与所述软性薄膜的第二表面相对的照明装置，且所述软性薄膜能透光。

8.如权利要求7所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述黏性薄膜与所述软性薄膜相对固定。

9.如权利要求5或6所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述黏性薄膜与所述软性薄膜相对固定。

10.如权利要求5或6所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述支撑件具有一软性部，以供受所述顶推件顶推的晶粒隔着所述黏性薄膜抵靠于所述软性部。

11.如权利要求10所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述支撑件的软性部的材质为硅胶或橡胶，所述软性部的硬度为萧氏硬度A50～A70。

12.如权利要求11所述的晶粒选取设备，其特征在于：还包含有一与所述软性薄膜的第二表面相对的照明装置，且所述软性薄膜能透光。

13.如权利要求12所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述黏性薄膜与所述软性薄膜相对固定。

14.如权利要求5所述的晶粒选取设备，其特征在于：所述支撑件具有一真空通道，所述真空通道连接至一真空压力源。