[实用新型]一种单晶炉副室清扫装置有效
申请号: | 201320261355.7 | 申请日: | 2013-05-14 |
公开(公告)号: | CN203295650U | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 刘英江;王江山;李广哲 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北省邢台*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉副室 清扫 装置 | ||
1.一种单晶炉副室清扫装置,包括由一对钳柄(1)和钳臂(2)构成的夹钳;其特征在于:所述两个钳臂(2)的顶端各固定有一个半圆形的夹盘(4),且两个夹盘(4)的开口相对设置。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室清扫装置,其特征在于:所述夹盘(4)的两个开口端的外侧各开有一个卡槽(5)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室清扫装置,其特征在于:所述钳臂(2)为V形杆,且V形杆的两个杆头分别与夹盘(4)的两个开口端固定联接。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室清扫装置,其特征在于:所述钳柄(1)为直杆。
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