[实用新型]用于真空镀膜设备的冷凝装置

权利要求书

1.一种用于真空镀膜设备的冷凝装置，其特征在于，该真空镀膜设备包含有一腔体及一真空泵，该冷凝装置包含有： 

一进气管，用以连接该腔体； 

一出气管，用以连接该真空泵；以及 

一冷阱组件，位于该进气管与该出气管之间，并且具有一第一弧形弯管、一第二弧形弯管、三冷阱管及至少三障板组，该第一弧形弯管与该进气管之间、该第一、第二弧形弯管之间及该第二弧形弯管与该出气管之间分别藉由一该冷阱管而连接在一起，且该第一、第二弧形弯管之间具有相反的弯曲方向，各个冷阱管内设有至少一该障板组，各个障板组具有多数个呈并排设置且间隔排列的倾斜障板及一冷却水管，该冷却水管具有多数条接触段，各个接触段贴抵于一该倾斜障板的一侧面。 

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的冷凝装置，其特征在于，各个冷阱管内所设的至少一该障板组的数量为二个，设于各个冷阱管内的二该障板组的倾斜障板之间呈镜射对称。 

3.根据权利要求1或2所述的用于真空镀膜设备的冷凝装置，其特征在于，该冷却水管更具有多数条穿置段，各个穿置段连接于相邻两该接触段之间且穿置于一该倾斜障板内。 

4.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的冷凝装置，其特征在于，该多数个倾斜障板沿着该冷阱管的径向依序排列。 

5.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的冷凝装置，其特征在于，该冷阱组件更具有一液体回收管，该液体回收管连接该第二弧形弯管。