[实用新型]用于真空镀膜设备的冷凝装置

说明书

技术领域

本实用新型与真空镀膜设备有关，特别是指一种用于真空镀膜设备的冷凝装置。

背景技术

简单来说，所谓的真空镀膜是藉由一真空泵抽出腔体内的残余气体，使腔体的内部维持真空状态，接着把一待镀物（例如基板）放到腔体内，最后再将一蒸镀源（例如硒）加热至汽化升华的状态，使蒸镀源的气体附着至待镀物的表面而形成一层薄膜。

然而，腔体内的残余气体除了一般水蒸气及其它高沸点蒸气之外，同时也可能含有些许的腐蚀性蒸气，为了避免真空泵吸入过多的腐蚀性蒸气而影响使用寿命，腔体与真空泵之间通常会设置一冷阱组件（cold trap），冷阱组件主要是利用低温冷凝效应来捕集腔体内的残余气体，使腔体内具有良好的真空度。就冷阱组件的现有技术来说，如美国公告第6,161,575号专利案所揭露的T型冷阱组件会影响蒸气流通的顺畅度，如此容易导致蒸气内的固体粒子聚集在T型冷阱组件的内部而产生局部腐蚀的现象。

发明内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于真空镀膜设备的冷凝装置，其能增加蒸气流通的顺畅度，以提升捕集蒸气的效率。

为了达成上述目的，本实用新型的冷凝装置设置在一腔体与一真空泵之间，并且包含有一连接该腔体的进气管、一连接该真空泵的出气管，以及一介于该进气管与该出气管之间的冷阱组件。该冷阱组件具有一第一弧形弯管、一第二弧形弯管，以及三冷阱管，该第一弧形弯管与该进气管之间、该第一、第二弧形弯管之间，以及该第二弧形弯管与该出气管之间分别藉由一该冷阱管而连接在一起，而且，该第一、第二弧形弯管之间具有相反的弯曲方向，使得该第一、第二弧形弯管在连接之后形成一S形通道，此外，该冷阱组件具有三障板组，各个障板组设于一该冷阱管内且具有多数个呈并排设置且间隔排列的倾斜障板及一冷却水管，各个冷却水管具有多数条接触段，各个接触段贴抵于一该倾斜障板的一侧面，用以提供降温效果给各个倾斜障板，使来自该腔体内的蒸气在碰到各个倾斜障板时会确实凝结在各个该倾斜障板的表面。

藉此，本实用新型的冷凝装置藉由该冷阱组件的第一、第二弧形弯管的设计，让蒸气能够顺畅地从该进气管朝该出气管的方向流动而不易产生粒子沉积，同时藉由该冷阱组件的多数个倾斜障板的并排设计，可以达到提升捕集蒸气效率的目的。

附图说明

图1为本实用新型的结构外观示意图。

图2为本实用新型的结构剖面示意图。

图3为本实用新型的局部立体剖视图，主要显示倾斜障板与冷却水管之间的关系。

图4为本实用新型的局部平面剖视图，主要显示倾斜障板与冷却水管之间的关系。

具体实施方式

请参阅图1及图2，本实用新型冷凝装置10安装于真空镀膜设备的一腔体12与一真空泵14之间，并且包含有一连接腔体12的进气管20、一连接真空泵14的出气管30，以及一位于进气管20与出气管30之间的冷阱组件40。

冷阱组件40具有一第一弧形弯管41及一第二弧形弯管42。第一弧形弯管41与进气管20之间、第一、第二弧形弯管41、42之间，以及第二弧形弯管42与出气管30之间分别藉由一个冷阱管43而两两连接在一起，而且，第一、第二弧形弯管41、42之间具有相反的弯曲方向，使得第一、第二弧形弯管41、42在连接之后形成一S形通道。再者，冷阱组件40具有六障板组44，该些障板组44两两成对地设于一个冷阱管43内，并且分别具有多数个倾斜障板45及一冷却水管47，这些倾斜障板45沿着冷阱管43之径向呈并排设置且间隔排列，如图3及4所示，而且，两障板组44的倾斜障板45之间呈镜射对称而具有相对的倾斜方向，各冷却水管47具有多数条相互平行的接触段472与多数条相互平行的穿置段474，各冷却水管47的接触段472贴抵于一个倾斜障板45的一侧面，各冷却水管47的穿置段474连接在相邻两穿置段474之间且穿置于一个倾斜障板45内，使得冷却水在流经各冷却水管47时能够提供降温效果给各倾斜障板45。此外，冷阱组件40更具有一液体回收管48，液体回收管48的一端连接第二弧形弯管42，液体回收管48的另一端连接一液体回收装置50。