[实用新型]晶粒分离装置

权利要求书

1.一种晶粒分离装置，包括机座、凸轮和顶针，所述凸轮设置在机座内，所述凸轮由步进电机提供动力，所述顶针设置在所述机座的顶端，所述顶针的针尖面积小于待分离晶粒的面积，其特征在于：所述顶针与所述凸轮之间通过一个连杆相连接，在所述机座内设置一个弹簧座，在所述连杆与所述弹簧座之间设置一个推力弹簧，所述连杆通过所述推力弹簧使其产生一个向上推动顶针的顶力，所述凸轮的侧边开有凸轮槽，在所述凸轮槽内设置随动器，所述连杆的下端可转动连接在所述随动器上，当所述随动器位于凸轮槽的远心端时，所述连杆将所述顶针顶出机座的顶端，当所述随动器位于凸轮槽的近心端时，所述连杆将所述顶针拉回机座的顶端。

2.根据权利要求1所述的晶粒分离装置，其特征在于：在所述机座顶端设有多个气孔，所述气孔通过气路连接至一个气压装置，所述气压装置为所述气孔提供真空或正压。

3.根据权利要求1所述的晶粒分离装置，其特征在于：所述机座上部为柱形，在靠近机座顶端的柱形侧面设置多个MOS管加热。

4.根据权利要求3所述的晶粒分离装置，其特征在于：在所述机座上靠近其顶端的柱形内部设置温度传感器，所述温度传感器将温度信息传送给控制单元，所述控制单元根据温度传感器的信息控制所述MOS管的加热量，使所述机座的顶端保持一个恒定的温度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的晶粒分离装置，其特征在于：在所述机座的顶端的上方设置晶粒吸嘴。

6.根据权利要求5所述的晶粒分离装置，其特征在于：在所述凸轮的转轴上设置位置传感器，所述位置传感器将顶针的位置信息传送给控制单元，所述控制单元控制所述晶粒吸嘴在所述顶针位于最高位置时吸取所述晶粒。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的晶粒分离装置，其特征在于：所述顶针为2至4个。