[实用新型]一种具有强行控制装置的循环供应系统

权利要求书

1.一种具有强行控制装置的循环供应系统，用于提供半导体设备所需液体，其特征在于，所述循环供应系统至少包括：供应管路结构和强行控制装置；

所述供应管路结构至少包括：用于盛放所需液体的供应箱；用于提供动力来源的循环泵，该循环泵与所述供应箱的出口相连；

所述强行控制装置用于紧急情况下强行启动所述循环泵，所述强行控制装置与供应管路结构中循环泵相连。

2.根据权利要求1所述的具有强行控制装置的循环供应系统，其特征在于：所述供应管路结构还包括：

用于过滤液体中杂质的过滤器，该过滤器与所述循环泵的出口相连；

所述供应箱的入口处连接有备压阀和与备压阀的入口相连的第一压力传感器；所述供应箱的出口与循环泵的入口之间还依次连接有第一气动阀和第二气动阀；所述循环泵的出口和过滤器的入口之间还依次连接有第三气动阀和第二压力传感器；所述过滤器的出口连接有第三压力传感器和与第三压力传感器的出口相连的第四气动阀；所述液体经第四气动阀后循环进入第一压力传感器的入口。

3.根据权利要求1所述的具有强行控制装置的循环供应系统，其特征在于：所述强行控制装置包括：

将电源电压转变为所述强行控制装置所需电压的变压器；

由所述变压器接出的正极和负极；连接在所述正极和负极之间的第二时间继电器、连接在所述正极和负极之间的第一时间继电器；所述第二时间继电器与第一时间继电器相连；

设置在所述正极上的总开关；

与所述第一时间继电器连接的普通继电器，所述普通继电器得失电由第一时间继电器控制；

与所述总开关和所述普通继电器分别相连接的电磁阀，所述电磁阀具有气腔，所述电磁阀气腔的出口与循环供应系统中循环泵连接。

4.根据权利要求3所述的具有强行控制装置的循环供应系统，其特征在于：所述电源电压的范围为100～250V。

5.根据权利要求1所述的具有强行控制装置的循环供应系统，其特征在于：所述循环泵包括分别设于循环泵两侧的第一开关传感器和第二开关传感器、设于所述第一开关传感器和第二开关传感器之间且用于控制循环供应系统中管道液体通断的活塞。

6.根据权利要求3所述的具有强行控制装置的循环供应系统，其特征在于：所述电磁阀气腔的入口连接有气源，所述气源与电磁阀之间还设有用于调节气压的调压阀。

7.根据权利要求6所述的具有强行控制装置的循环供应系统，其特征在于：所述气源为压缩空气。

8.根据权利要求3所述的具有强行控制装置的循环供应系统，其特征在于：所述强行控制装置中还包括一与所述变压器相连的插头。