[实用新型]一种具有强行控制装置的循环供应系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺领域，特别是涉及一种具有强行控制装置的循环供应系统。

背景技术

在半导体制造领域，很多制程需要大量的易燃和高腐蚀的化学品来满足生产的需要，比如，化学机械抛光（Chemical Mechanical Polishing，CMP）制程，这种抛光方法通常是将待抛光的晶圆由抛光头夹持，并将其以一定压力压于一高速旋转的抛光垫上，并在包含有化学抛光剂和研磨颗粒的抛光浆料的作用下通过抛光垫与晶片的相互摩擦达到平坦化的目的，其中，抛光浆料的供应便是通过一循环供应系统来实现。在循环供应系统中，一般采用循环泵作为输送动力的来源，循环泵由具有可编程逻辑控制器PLC的控制系统来控制，循环供应系统要求二十四小时不中断。对于容易结晶的的循环系统，对循环泵的要求尤其高，因为一旦循环泵出现状况不工作，化学品便会发生结晶，使整个管路出现拥堵，甚至瘫痪。

现有的循环供应系统的控制系统如图1所示，该控制系统用于控制管路中循环泵，所述控制系统是由循环泵2A、泵信号控制器1A、可编程逻辑控制器（PLC）3A、电磁阀36A和调压阀37A构成。所述循环泵由两侧的第一开关传感器21A、第二开关传感器22A和第一开关传感器21A、第二开关传感器22A之间的活塞23A组成，当循环泵2A内部的活塞23A碰到一侧的开关传感器时，该信号传递给泵信号控制器1A，泵信号控制器1A进而将信号传递给PLC3A，PLC3A控制电磁阀36A是否得电，使电磁阀36A进行内部气腔的切换，气腔切换后，控制循环泵2A中的活塞23A从一侧的开关传感器运动到另一侧的开关传感器，如此循环，使循环供应系统可以持续的工作。但是，如果控制系统中线路有问题、循环泵2A便无法正常工作；如果泵信号控制器1A或PLC3A有问题，循环泵2A也没法正常工作，这将会给制程带来极大的影响，而目前还没有一种用于强行启动循环泵2A的装置。

因此，设计一种具有强行控制装置的循环供应系统实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种具有强行控制装置的循环供应系统，用于解决现有技术中控制循环泵的控制系统出现问题时循环泵不能启动的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种具有强行控制装置的循环供应系统，用于提供半导体设备所需液体，所述循环供应系统至少包括：供应管路结构和强行控制装置；

所述供应管路结构至少包括：用于盛放所需液体的供应箱；用于提供动力来源的循环泵，该循环泵与所述供应箱的出口相连；

所述强行控制装置用于紧急情况下强行启动所述循环泵，所述强行控制装置与供应管路结构中循环泵相连。

优选地，所述供应管路结构还包括：

用于过滤液体中杂质的过滤器，该过滤器与所述循环泵的出口相连；

所述供应箱的入口处连接有备压阀和与备压阀的入口相连的第一压力传感器；所述供应箱的出口与循环泵的入口之间还依次连接有第一气动阀和第二气动阀；所述循环泵的出口和过滤器的入口之间还依次连接有第三气动阀和第二压力传感器；所述过滤器的出口连接有第三压力传感器和与第三压力传感器的出口相连的第四气动阀；所述液体经第四气动阀后循环进入第一压力传感器的入口。

优选地，所述强行控制装置包括：

将电源电压转变为所述强行控制装置所需电压的变压器；

由所述变压器接出的正极和负极；连接在所述正极和负极之间的第二时间继电器、连接在所述正极和负极之间的第一时间继电器；所述第二时间继电器与第一时间继电器相连；

设置在所述正极上的总开关；

与所述第一时间继电器连接的普通继电器，所述普通继电器得失电由第一时间继电器控制；

与所述总开关和所述普通继电器分别相连接的电磁阀，所述电磁阀具有气腔，所述电磁阀气腔的出口与循环供应系统中循环泵连接。

优选地，所述电源电压的范围为100～250V。

优选地，所述循环泵包括分别设于循环泵两侧的第一开关传感器和第二开关传感器、设于所述第一开关传感器和第二开关传感器之间且用于控制循环供应系统中管道液体通断的活塞。

优选地，所述电磁阀气腔的入口连接有气源，所述气源与电磁阀之间还设有用于调节气压的调压阀。

优选地，所述气源为压缩空气。

优选地，所述强行控制装置中还包括一与所述变压器相连的插头。