[实用新型]连续式真空蒸发镀膜装置

权利要求书

1.一种连续式真空蒸发镀膜装置，包括：镀膜室、工件架和膜料架，其特征在于，

所述镀膜室一端连通第一过渡室，另一端连通第二过渡室；

所述第一过渡室、镀膜室、第二过渡室内分别设有传输所述工件架的第一轨道和传输所述膜料架的第二轨道；

所述第一过渡室两端和第二过渡室两端分别设有可开关的用于隔离气体的插板阀；

所述第一过渡室、镀膜室、第二过渡室分别配置有独立的抽气系统。

2.根据权利要求1所述的连续式真空蒸发镀膜装置，其特征在于，

所述第一过渡室的第一轨道与镀膜室的第一轨道由置纳插板阀的空隙隔离，二者延长部分相互重叠；镀膜室的第一轨道和第二过渡室的第一轨道由置纳插板阀的空隙隔离，二者延长部分相互重叠；

所述第一过渡室的第二轨道与镀膜室的第二轨道由置纳插板阀的空隙隔离，二者延长部分相互重叠；镀膜室的第二轨道和第二过渡室的第二轨道由置纳插板阀的空隙隔离，二者延长部分相互重叠。

3.根据权利要求2所述的连续式真空蒸发镀膜装置，其特征在于，所述第一过渡室包括：上第一过渡室，与上第一过渡室连通的下第一过渡室；上第一过渡室内设有所述第一轨道；所述下第一过渡室内设有所述第二轨道；

所述第二过渡室包括：上第二过渡室，与上第二过渡室连通的下第二过渡室；上第二过渡室内设有所述第一轨道；所述下第二过渡室内设有所述第二轨道。

4.根据权利要求3所述的连续式真空蒸发镀膜装置，其特征在于，所述插板阀包括：上插板阀和下插板阀；

所述上第一过渡室两端和上第二过渡室两端均设置有上插板阀；

所述下第一过渡室两端和下第二过渡室两端均设置有下插板阀。

5.根据权利要求1至4任一项所述的连续式真空蒸发镀膜装置，其特征在于，所述第一轨道包括：第一滑轮，该第一滑轮的一侧设置有第一齿轮；

所述工件架包括：工件架本体，该工件架本体的顶部设置有与所述第一滑轮适配的第一滑块，该第一滑块一侧设有与所述第一齿轮啮合的第一齿条。

6.根据权利要求1至4任一项所述的连续式真空蒸发镀膜装置，其特征在于，所述第二轨道包括：第二滑轮，该第二滑轮的一侧设置有第二齿轮；所述膜料架包括：膜料架本体，该膜料架本体的底部设置有与所述第二滑轮适配的第二滑块，所述第二滑块的一侧设有与所述第二齿轮啮合的第二齿条。

7.根据权利要求1至4任一项所述的连续式真空蒸发镀膜装置，其特征在于，还包括第一底架、平移架，以及用于运输平移架的第二底架；所述第一过渡室、镀膜室以及第二过渡室置于所述第一底架上；所述第二底架两端分别与所述第一底架的两端连接，二者的顶部外表面处于同一水平面上；

所述平移架上分别设置有第一轨道和第二轨道；当所述平移架置于第二底架上与第一底架上设有第一过渡室的一端连接的一端时，所述平移架的第一轨道与第一过渡室的第一轨道由置纳插板阀的空隙隔离，二者延长部分相互重叠。

8.根据权利要求7所述的连续式真空蒸发镀膜装置，其特征在于，还包括：

用于蒸发膜料的蒸发器；

用于对上第一过渡室、镀膜室的加热器；

用于对基材进行清洗的离子轰击装置。

9.根据权利要求7所述的连续式真空蒸发镀膜装置，其特征在于，还包括：

用于监测基材镀膜厚度的膜厚监控仪器；

用于监测第一过渡室、镀膜室、第二过渡室的真空度的复合真空计。