[实用新型]一种液晶显示器玻璃基板薄化设备有效
申请号: | 201320297282.7 | 申请日: | 2013-05-28 |
公开(公告)号: | CN203269791U | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 陈必盛 | 申请(专利权)人: | 湖北优尼科光电技术有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 432500 湖北省孝感市云*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 液晶显示器 玻璃 基板薄化 设备 | ||
1.一种液晶显示器玻璃基板薄化设备,其特征在于:包括蚀刻箱体(1),蚀刻箱体(1)的内部成型有蚀刻腔室(11),蚀刻箱体(1)的内部于蚀刻腔室(11)的下方成型有缓冲腔室(12),蚀刻箱体(1)的内部于蚀刻腔室(11)与缓冲腔室(12)之间设置有搭肩(13),缓冲腔室(12)的底部配装有至少两条与循环泵体的出液口连接且往缓冲腔室(12)内供给蚀刻剂的进液管(2),蚀刻腔室(11)与缓冲腔室(12)之间装设有滤网层(3),滤网层(3)的边缘部搭设于搭肩(13)的上表面;缓冲腔室(12)内于滤网层(3)的下方装设有往蚀刻腔室(11)内供给气体的供气管道(4),供气管道(4)包括有两条平行且间隔布置的集流管(41),各集流管(41)分别配装有与外部气源连通的进气管(42),两条集流管(41)之间装设有至少两条平行且间隔布置的分流管(43),分流管(43)的两端部分别与相应侧的集流管(41)连接,各集流管(41)和各分流管(43)分别开设有呈均匀间隔布置且朝上开口的透气孔(44);蚀刻箱体(1)的上端部于蚀刻腔室(11)的上方盖装有蚀刻箱盖(5),蚀刻箱盖(5)配装有连通蚀刻腔室(11)的排气管(6)。
2.根据权利要求1所述的一种液晶显示器玻璃基板薄化设备,其特征在于:所述蚀刻腔室(11)的内部于所述上导流板的上方装设有固定支撑架(7),固定支撑架(7)包括有水平横向布置的固定支撑横杆(71),固定支撑横杆(71)开设有沿长度方向呈均匀间隔布置的卡持槽(711)。
3.根据权利要求2所述的一种液晶显示器玻璃基板薄化设备,其特征在于:所述蚀刻箱体(1)的上端部配装有与所述蚀刻腔室(11)连通的溢流管(8)。
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