[实用新型]一种液晶显示器玻璃基板薄化设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及蚀刻装置技术领域，尤其涉及一种液晶显示器玻璃基板薄化设备。

背景技术

现有技术一般采用浸渍法和喷淋发来加工制造液晶显示器的玻璃基板，其中，浸渍法由于设备简单且成本低的优点而被广泛地应用于液晶显示器的玻璃基板加工制造。

在利用浸渍法加工制造液晶显示器的玻璃基板的过程中，蚀刻剂在箱体内流动并蚀刻玻璃基板，其中，蚀刻剂可以从箱体的顶部淋下，也可以从箱体的底部输入；对于蚀刻剂从箱体底部输入的结构形式而言，由于蚀刻剂通过一个或者多个入口直接通入至箱体的内部，蚀刻剂快速地流动并容易在箱体的内部产生涡流，进而造成箱体内部不同位置的流速不一样以致于影响同一批次玻璃基板的反应效率以及蚀刻质量的一致性。

另外，为了使得玻璃基板蚀刻时所产生的反应残渣能够更快地被带走，在对玻璃基板进行蚀刻作业的同时，箱体的内部同时还通入空气；所通入的空气能否均匀地分布于箱体内部并平衡地于各玻璃基板接触，对于蚀刻效率会产生重要影响。

发明内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足而提供一种液晶显示器玻璃基板薄化设备，该液晶显示器玻璃基板薄化设备能够有效地避免涡流对玻璃基板蚀刻质量的影响，进而能够有效地提高玻璃基板的蚀刻质量；另外，该新式高效玻璃薄化设备能够使得空气均匀地分布于蚀刻腔室内，即能够加快玻璃基板蚀刻薄化速度并提高蚀刻效率。

为达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现。

    一种液晶显示器玻璃基板薄化设备，包括蚀刻箱体，蚀刻箱体的内部成型有蚀刻腔室，蚀刻箱体的内部于蚀刻腔室的下方成型有缓冲腔室，蚀刻箱体的内部于蚀刻腔室与缓冲腔室之间设置有搭肩，缓冲腔室的底部配装有至少两条与循环泵体的出液口连接且往缓冲腔室内供给蚀刻剂的进液管，蚀刻腔室与缓冲腔室之间装设有滤网层，滤网层的边缘部搭设于搭肩的上表面；缓冲腔室内于滤网层的下方装设有往蚀刻腔室内供给气体的供气管道，供气管道包括有两条平行且间隔布置的集流管，各集流管分别配装有与外部气源连通的进气管，两条集流管之间装设有至少两条平行且间隔布置的分流管，分流管的两端部分别与相应侧的集流管连接，各集流管和各分流管分别开设有呈均匀间隔布置且朝上开口的透气孔；蚀刻箱体的上端部于蚀刻腔室的上方盖装有蚀刻箱盖，蚀刻箱盖配装有连通蚀刻腔室的排气管。

其中，所述蚀刻腔室的内部于所述上导流板的上方装设有固定支撑架，固定支撑架包括有水平横向布置的固定支撑横杆，固定支撑横杆开设有沿长度方向呈均匀间隔布置的卡持槽。

其中，所述蚀刻箱体的上端部配装有与所述蚀刻腔室连通的溢流管。

本实用新型的有益效果为：本实用新型所述的一种液晶显示器玻璃基板薄化设备，其蚀刻箱体的内部设置蚀刻腔室、缓冲腔室以及搭肩，缓冲腔室的底部配装至少两条进液管，搭肩的上表面搭设滤网层，缓冲腔室内于滤网层的下方装设供气管道，供气管道包括集流管、进气管以及分流管，各集流管和各分流管分别开设透气孔，蚀刻箱体的上端部盖装蚀刻箱盖，蚀刻箱盖配装排气管。工作时，蚀刻剂经由进液管而输入至缓冲腔室内，缓冲腔室能起到缓冲作用；进入至缓冲腔室内的蚀刻剂再经由滤网层而进入至蚀刻腔室内；本实用新型通过滤网层对蚀刻剂进行分流细化处理，蚀刻剂最终均匀平稳地进入至蚀刻腔室内。另外，空气先通过进气管而进入至集流管内，而后再分流并进入至各分流管内，进入至各集流管和各分流管内的空气最后经由透气孔而通入至缓冲腔室内，透气孔对空气进行细化处理，滤网层对细小气泡进行二次分流细化处理，细小气泡与玻璃基板接触并将玻璃基板表面蚀刻后的反应残渣带走。通过上述结构设计，本实用新型一方面能够有效地避免涡流对玻璃基板蚀刻质量的影响，进而能够有效地提高玻璃基板的蚀刻质量；另一方面能够使得空气均匀地分布于蚀刻腔室内，即能够加快玻璃基板蚀刻薄化速度并提高蚀刻效率。

附图说明

下面利用附图来对本实用新型进行进一步的说明，但是附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的供气管道的结构示意图。

在图1和图2中包括有：

1——蚀刻箱体        11——蚀刻腔室

12——缓冲腔室       13——搭肩

2——进液管          3——滤网层

4——供气管道        41——集流管         

42——进气管         43——分流管         

44——透气孔         5——蚀刻箱盖