[实用新型]用于晶体管电流及电压测试的测试设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其是指一种用于晶体管电流及电压测试的测试设备。

背景技术

现有半导体制造例如液晶显示器制造技术中，经常需要对电路上的薄膜晶体管TFT进行IV（电流、电压）测试，以检测薄膜晶体管TFT的性能。

如图1为现有薄膜晶体管TFT的IV测试系统中用于提供光的光源结构示意图，该光学结构包括：CCD（电荷耦合器件）图像传感器1、镜座2、显微镜物镜头3及光源4，利用光源4所发出光CCD图像传感器1通过镜座2及显微镜物镜头3观看到测试位置对应的探针，并使测试位置对应的探针接收光源4所发出光，利用所接收的光进行光电流的测量。

然而，现有技术的该光源结构，由于光路设计的限制，在量测光电流时只能使用光源4所发出的白光，而对于单色、单波段光线照射下的光电流无法进行评价及测试。

实用新型内容

本实用新型技术方案的目的是提供一种用于晶体管电流及电压测试的测试设备，能够实现薄膜晶体管TFT在单色、单波段光线照射下的光电流测试。

本实用新型提供一种用于晶体管电流及电压测试的测试设备，其中，所述测试设备包括：

光源本体；

用于利用所述光源本体所发出光线获取待测位置的图像采集装置，所述图像采集装置包括图像采集镜头；

位置可调节的探针，对所述待测位置进行电流及电压测试时，所述探针位于所述待测位置处；

用于生成单波段光线来照射所述探针以进行晶体管电流及电压测试的分光计，所述分光计连接有出光光纤，所述出光光纤的光纤镜头与所述图像采集镜头保持固定距离。

优选地，上述所述的测试设备，所述图像采集装置还包括：图像传感器及镜座。

优选地，上述所述的测试设备，所述图像传感器为电荷耦合器件图像传感器。

优选地，上述所述的测试设备，所述出光光纤固定于所述镜座上。

优选地，上述所述的测试设备，还包括：

用于记录所述固定距离的存储装置；以及

用于根据所述固定位置移动设置所述探针的探针台，使所述探针与所述出光光纤的光纤镜头相对位的移动装置。

本实用新型具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：

本实用新型具体实施例所述测试设备，利用分光计生成单波段光线，并保证出光光纤的光纤镜头与图像采集镜头保持固定距离，在测试时当利用图像采集装置确定待测位置后，根据所设定的固定距离，移动设置探针的探针台，即能够使待测位置处的探针与出光光纤的光纤镜头相对位，从而使探针接收到分光计所发出的单波段光线，进行薄膜晶体管的单波段光线的光电流测试。

附图说明

图1表示现有技术用于晶体管IV测试的光源结构示意图；

图2表示本实用新型具体实施例所述用于晶体管IV测试的光源结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本实用新型进行详细描述。

图2为本实用新型具体实施例所述用于晶体管IV测试的光源结构示意图，参阅图2所示，所述光源结构包括：

光源本体10；

用于利用所述光源本体所发出光线获取待测位置的图像采集装置20，所述图像采集装置20包括图像采集镜头21；

位置可调节的探针（图中未显示），当对所述待测位置进行电流及电压测试时，所述探针设置于所述待测位置处；

用于生成单波段光线来照射所述探针，使所述探针接收所述单波段光线，以进行晶体管电流及电压（IV）测试的分光计30，所述分光计30包括出光光纤31，所述出光光纤31的光纤镜头32与所述图像采集镜头21保持固定距离。

具体地，所述图像采集装置20还包括：图像传感器22及镜座23，其中所述出光光纤31通过固定装置40固定于所述镜座23上。优选地，所述图像传感器22为电荷耦合器件图像传感器。

通过上述光源结构，利用分光计30生成单波段光线，并保证出光光纤31的光纤镜头32与图像采集镜头21保持固定距离，在测试时当利用图像采集装置20确定待测位置后，根据所设定的固定距离，移动设置探针的探针台，即能够使待测位置处的探针与出光光纤31的光纤镜头相对位，从而使探针接收到分光计30所发出的单波段光线，进行薄膜晶体管TFT的单波段光线的光电流测试。

采用上述图2所示结构的光源结构，在进行薄膜晶体管TFT的电流及电压（IV）测试之前，为了使被测位置能够接收到单波段光线，需要进行如下的调整工作：