[实用新型]一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒

权利要求书

1.一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒，其特征在于包括盒体（1）和盒盖（2），所述盒体（1）上设有舱室平台，舱室平台为一个平滑的圆形平台，平台的直径大于薄晶圆片的直径，沿舱室平台（3）外周的部分弧将盒体分为高低两部分，在盒体低的部分设有取放口（4），取放口（4）为一条设置在舱室平台外侧的弧形凹槽，所述凹槽紧挨着舱室平台（3），取放口（4）的高度大于舱室平台（3）的高度，所述盒盖（2）也分为高低两部分，盒盖（2）低的部分与盒体（1）高的部分相适配，盒盖（2）高的部分与盒体（1）低的部分相适配。

2.根据权利要求1所述的一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒，其特征在于所述盒体沿舱室平台（3）的一条直径分为高低两部分，在盒体（1）高的部分，舱室平台（3）的周围为陡直的边沿，边沿的高度大于薄晶圆片的翘曲高度，在盒体（1）低的部分，舱室平台（3）的周围为取放口（4），取放口（4）为半圆形凹槽，取放口（4）的高度大于舱室平台的高度，高度差为1mm-5mm，半圆形凹槽在远离舱室平台的一侧设有斜面（5），斜面（5）的上沿与盒体（1）低部分的上表面平齐，斜面（5）的下沿高于舱室平台（3）。

3.根据权利要求2所述的一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒，其特征在于在盒盖（2）高的部分与取放口（4）相对应的位置上设有与取放口（4）相适配的阻挡棱（6）。

4.根据权利要求3所述的一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒，其特征在于所述盒体（1）的上表面设有第一定位棱（7），所述第一定位棱（7）位于所述盒体（1）高的部分上，所述盒体（1）的下表面设有定位槽（8）；所述盒盖（2）的上表面设有第二定位棱（9），第一定位棱（7）与第二定位棱（9）组合成的形状与定位槽（8）相适配。

5.根据权利要求4所述的一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒，其特征在于盒体（1）低的部分上设有第一锁孔（10），在盒盖（2）上与第一锁孔相对应的位置设有第二锁孔（11）。

6.根据权利要求2所述的一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒，其特征在于所述斜面（5）为45°斜面。