[实用新型]用于光刻区地面的吸污垫有效
| 申请号： | 201320311530.9 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN203304267U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡永伟;金维;施冠元 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B17/02 | 分类号： | B08B17/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 地面 吸污垫 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：包括一层防静电膜及其上的一层防化学吸污棉，该防静电膜和防化学吸污棉相互贴合固定。
2.根据权利要求1所述的用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：该防化学吸污棉由四片两两相接的吸污棉组合而成。
3.根据权利要求2所述的用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：该相邻两片吸污棉之间间隔0-30mm。
4.根据权利要求3所述的用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：该相邻两片吸污棉之间间隔1-10mm。
5.根据权利要求4所述的用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：该防静电膜为方形，该防化学吸污棉为由四片方形吸污棉组成的方形，且防化学吸污棉边缘与防静电膜边缘的距离为0-30mm。
6.根据权利要求5所述的用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：该防化学吸污棉与防静电膜的边缘相互重叠。
7.根据权利要求1至6任一项所述的用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：该防静电膜与防化学吸污棉相互粘合。
8.根据权利要求7所述的用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：该防静电膜与防化学吸污棉通过塑料泡沫胶相互粘合。
9.根据权利要求8所述的用于光刻区地面的吸污垫，其特征在于：该防化学吸污棉的中间部分通过塑料泡沫胶与防静电膜相互粘合，防化学吸污棉的边缘通过夹子与防静电膜相互固定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320311530.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：处理生活垃圾焚烧发电炉渣的设备
- 下一篇：吸气装置
