[实用新型]一种在线透明导电膜玻璃镀膜装置

权利要求书

1.一种在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：包括安装于锡槽腔内的多槽镀膜机反应器和单槽镀膜机反应器，多槽镀膜反应器和单槽镀膜反应器沿玻璃基板的前进方向进行排列安装，实现化学气相沉积三层薄膜层的复合结构。

2.根据权利要求1所述的在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：所述多槽镀膜机反应器为两台，所述单槽镀膜机反应器为一台，所述单槽镀膜机反应器安装于两多槽镀膜机反应器之间。

3.根据权利要求1或2所述的在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：所述多槽镀膜机反应器包括悬挂安装的第一镀膜器机体、第一镀膜器机体底面形成的第一不锈钢板、多个进气槽、多个排气槽、进气连接管和排气抽气管；该多个进气槽和多个排气槽彼此相隔并交替排列，且各个进气槽和各个排气槽的底端分别贯穿第一不锈钢板，各个进气槽的顶端分别与进气连接管相连通，各个排气槽的顶端分别与排气抽气管相连通。

4.根据权利要求1或2所述的在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：所述单槽镀膜机反应器包括悬挂安装的第二镀膜器机体、第二镀膜器机体底面形成的第二不锈钢板、一进气单元和两排气单元，进气单元位于两排气单元之间；进气单元包括同时贯穿第二不锈钢板和第二镀膜器机体且上小下大的9～17个锥形进气管道和位于该进气管道顶部的进气装置，各个进气管道上分别设有螺旋状槽道；各个排气单元分别包括同时贯穿第二不锈钢板和第二镀膜器机体且上小下大的5～7个锥形排气管道和位于该排气管道顶部的排气装置，各个排气管道上分别设有螺旋状槽道。

5.根据权利要求3所述的在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：所述各个进气槽的底部分别为上大下小的锥形喷嘴，所述各个进气槽的两相对侧面中，其中一侧面设有1～3个阻尼板，另一侧面设有2～4个阻尼板，且该两相对侧面的阻尼板呈交错排列；所述各个排气槽分别呈下大上小的锥形结构，且所述各个排气槽的上端分别设有负压调节阀。

6.根据权利要求5所述的在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：所述各个进气槽内位于最顶端的阻尼板与进气槽的顶端之间的距离为100～200mm，所述各个进气槽内位于最底端的阻尼板与进气槽的的底端之间的距离为250～350mm。

7.根据权利要求3所述的在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：所述进气槽的个数为六个，所述排气槽的个数为七个。

8.根据权利要求3所述的在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：所述多槽镀膜机反应器还包括进气调节器、排气控制器和冷却腔，所述各个进气槽的顶端分别通过进气调节器与所述进气连接管相连通，所述各个排气槽分别通过排气控制器与所述排气抽气管相连通；冷却腔安装于所述第一镀膜器机体底部，并位于所述第一不锈钢板上方。

9.根据权利要求1或2所述的在线透明导电膜玻璃镀膜装置，其特征在于：还包括用于控制膜层厚度和工艺参数的计算机。