[实用新型]一种在线透明导电膜玻璃镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜装置，特别是涉及一种在线透明导电膜玻璃镀膜装置。

背景技术

随着国家一系列可再生能源的开发利用、建筑节能法规、政策鼓励推动，玻璃行业以低辐射镀膜玻璃和高端功能性玻璃等为代表的高科技高附加值产品的需求量快速增长，其中，作为未来发展的绿色能源之一，太阳能光伏发电站的诞生，使得太阳能薄膜电池用透明导电氧化物膜（简称：TCO）玻璃的市场变得非常紧俏。研究和生产高性能、低成本的光伏用TCO玻璃已经成为一个热门领域，该导电玻璃广泛应用于太阳能光伏电站及照明灯、玩具、庭院灯等建筑物和日常生活场所。

由于在线TCO玻璃工艺复杂和技术难度大，涉及到如化学、光学、电学、物理学和材料学等多学科技术领域，尤其要求镀膜膜层具有透明和导电的双重功能，其性能指标必须满足薄膜电池兼容电极使用，要求光电转化效率高、使用寿命长、克服宽板边部与中间由于温差易引起的膜层不均匀缺陷，为此，需要对镀膜机特殊结构设计，攻克大面积镀膜均匀性问题以及降低成本等关键技术问题。另外工艺生产上对镀膜专用设备的适用性、设计能力、镀膜稳定性等需要进行全面技术评估鉴定，才能确保镀膜器装置在生产使用中，精确操作和安全可靠。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术之不足，提供一种在线透明导电膜玻璃镀膜装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种在线透明导电膜玻璃镀膜装置，包括安装于锡槽腔内的多槽镀膜机反应器和单槽镀膜机反应器，多槽镀膜反应器和单槽镀膜反应器沿玻璃基板的前进方向进行排列安装，实现化学气相沉积三层薄膜层的复合结构。

所述多槽镀膜机反应器为两台，所述单槽镀膜机反应器为一台，所述单槽镀膜机反应器安装于两多槽镀膜机反应器之间。

所述多槽镀膜机反应器包括悬挂安装的第一镀膜器机体、第一镀膜器机体底面形成的第一不锈钢板、多个进气槽、多个排气槽、进气连接管和排气抽气管；该多个进气槽和多个排气槽彼此相隔并交替排列，且各个进气槽和各个排气槽的底端分别贯穿第一不锈钢板，各个进气槽的顶端分别与进气连接管相连通，各个排气槽的顶端分别与排气抽气管相连通。

所述单槽镀膜机反应器包括悬挂安装的第二镀膜器机体、第二镀膜器机体底面形成的第二不锈钢板、一进气单元和两排气单元，进气单元位于两排气单元之间；进气单元包括同时贯穿第二不锈钢板和第二镀膜器机体且上小下大的9～17个锥形进气管道和位于该进气管道顶部的进气装置，各个进气管道上分别设有螺旋状槽道；各个排气单元分别包括同时贯穿第二不锈钢板和第二镀膜器机体且上小下大的5～7个锥形排气管道和位于该排气管道顶部的排气装置，各个排气管道上分别设有螺旋状槽道。

所述各个进气槽的底部分别为上大下小的锥形喷嘴，所述各个进气槽的两相对侧面中，其中一侧面设有1～3个阻尼板，另一侧面设有2～4个阻尼板，且该两相对侧面的阻尼板呈交错排列；所述各个排气槽分别呈下大上小的锥形结构，且所述各个排气槽的上端分别设有负压调节阀。

所述各个进气槽内位于最顶端的阻尼板与进气槽的顶端之间的距离为100～200mm，所述各个进气槽内位于最底端的阻尼板与进气槽的的底端之间的距离为250～350mm。

所述进气槽的个数为六个，所述排气槽的个数为七个。

所述多槽镀膜机反应器还包括进气调节器、排气控制器和冷却腔，所述各个进气槽的顶端分别通过进气调节器与所述进气连接管相连通，所述各个排气槽分别通过排气控制器与所述排气抽气管相连通；冷却腔安装于所述第一镀膜器机体底部，并位于所述第一不锈钢板上方。

还包括用于控制膜层厚度和工艺参数的计算机。

本实用新型的一种在线透明导电膜玻璃镀膜装置，采用多槽镀膜机反应器和单槽镀膜机反应器的排列组合，实现了大面积板宽达3660mm的均匀性膜层，并形成具有折射梯度“玻璃/SnSiO_x/SiO₂（或SnO₂）/SnO₂:F”镀膜结构，其中双层阻挡层的复合膜层，有效阻隔Na⁺离子等金属进入TCO玻璃，消除了玻璃与掺氟功能膜层易产生干涉条纹引起的彩虹现象，同时由于功能膜层与双层阻挡组合的膜系结构，可见光透射比、雾度与表面电阻性能兼优、并可调控薄膜晶体生长及晶体结构（表面粗糙度），满足薄膜电池电极配套需求。