[实用新型]基板吸附装置及切割机

权利要求书

1.一种基板吸附装置，其包括可移动板、多个吸盘和吸引气压源，所述可移动板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述吸盘固定于所述第二表面上，且每一吸盘与所述吸引气压源连通，其特征在于：所述基板吸附装置还包括多个辅助垫片，所述辅助垫片固定于所述第二表面上，且所述辅助垫片的厚度大于或等于所述吸盘吸附于基板时所述基板与所述可移动板的间距。

2.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于：所述吸盘的高度为3.8～4.0毫米，所述辅助垫片的厚度为3.6～3.8毫米。

3.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于：所述辅助垫片的远离可移动板的表面上开设有多个排气槽。

4.如权利要求3所述的基板吸附装置，其特征在于：所述多个排气槽之间相互连通，当所述辅助垫片的远离可移动板的表面与所述基板接触时，所述多个排气槽的至少其中之一与外界连通。

5.如权利要求3所述的基板吸附装置，其特征在于：所述多个排气槽的数量为四个，包括第一排气槽、第二排气槽、第三排气槽和第四排气槽，所述第一排气槽和所述第二排气槽为沿所述辅助垫片的径向延伸的线状槽体，所述第三排气槽和所述第四排气槽为最大直径不同的环状槽体，且所述第一排气槽、所述第二排气槽、所述第三排气槽和所述第四排气槽相互连通。

6.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于：所述辅助垫片和所述吸盘均通过粘胶贴附于所述可移动板的所述第二表面上。

7.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于：所述多个吸盘和所述多个辅助垫片均匀排布于所述可移动板的所述第二表面上。

8.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于：所述可移动板上开设有多个第一吸气孔，每一吸盘包括底部及从所述底部的边缘延伸出的侧壁，所述底部上开设有第二吸气孔，每一第二吸气孔与一第一吸气孔对应，所述底部固定于所述可移动板的所述第二表面上，每一第二吸气孔与对应的第一吸气孔贯通。

9.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于：所述吸盘包括依次连接且中空的吸附部、穿插部及套设部，所述可移动板上开设有多个第一吸气孔，所述吸引气压源具有多个管路，所述吸附部位于所述第二表面上，所述穿插部穿插于对应的所述第一吸气孔内，所述套设部套设于对应的所述管路上。

10.一种切割机，其特征在于，所述切割机包括权利要求1至9任意一项所述的基板吸附装置。