[实用新型]一种真空镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜装置领域，尤其是涉及一种真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜装置广泛用于制造显示器用透明导电膜和/或功能膜玻璃、光学用功能膜玻璃等，这些装置已经发展了几十年，从早期的简单装置发展到目前大型自动化装置。显示器用透明导电膜玻璃镀膜装置大部分是采用立式连续磁控溅射镀膜线，其真空腔体往往是长度几十米的真空隧道，宽度不足半米，而高度一般在一米以上，玻璃基板竖立挂在专用传送车（Carrier，一种挂玻璃的小车，竖立的长方形结构，底部与传动辊接触）上一同在传送辊上移动，所以叫立式镀膜线。在真空里即使极轻微的羽毛都和钢球一样按自由落体方式落下，所以玻璃基板竖立起来传送，是为了最大限度地减少真空腔体内部尘埃落到其表面，减小尘埃对镀膜玻璃品质的影响。同时为了导电膜的性质最佳化还要加热玻璃基板，一般设有加热器。阴极放置在真空腔体侧板上，其发生磁控溅射的表面朝向真空一侧且与腔体侧板平行，当挂有玻璃基板的传送车移动到阴极位置时，阴极靶材表面溅射出来的原子附着在玻璃上，形成透明导电膜和其它功能膜。

目前，大多数液晶显示器、有机发光显示器、电阻式触摸屏、电容式触摸屏都用ITO(银锡合金氧化物)镀膜玻璃，而该镀膜玻璃目前皆采用真空镀膜装置中的立式连续磁控溅射镀膜线生产。然而近期研发的未来将大发展的所谓OGS（One Glass Solution）电容式触摸屏玻璃的ITO镀膜遇到了难题。以往的ITO玻璃都是较大的矩形玻璃，比如370mm×470mm到400mm×500mm矩形玻璃，在传统的立式连续磁控溅射镀膜线上镀膜时每个传送车上挂此类玻璃基板6片到8片，并且按产能要求以40秒至90秒的节拍完成一个传送车的挂片和卸片，这对两名熟练操作员是可行的，然而在这种传统镀膜装置上的同样大的传送车上挂OGS玻璃基板就相当困难。OGS玻璃大多用在智能手机上，它是大小在40mm×100mm到60mm×150mm之间、角部已经倒圆滑、边部精细研磨成型的小玻璃，即使OGS玻璃用在掌上电脑上也不过185mm×240mm左右，按照推算这种小玻璃在传统镀膜设备传送车上可挂的数量在42片到480片之多，目前在传统装置上使用的“四个凹槽固定”方式很难把这么多的玻璃基板挂上，40秒至90秒的节拍也无法实现。所谓“四个凹槽固定”方式是这样的，约1300mm高、1500mm长的竖立的平面状传送车上设置多个横梁，下横梁上设两个向上的凹槽，上横梁上设两个向下的与弹片连接的凹槽，玻璃基板的下边插入下凹槽，玻璃基板的上边插入上凹槽，每片玻璃基板至少需要上下各两个凹槽，靠下凹槽的支撑和上凹槽的弹性下压竖直挂上玻璃基板。假如是480片玻璃基板就至少需要1920个凹槽，这种结构上很麻烦，操作上困难，节拍上延长很多，品控上带来难题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新型的真空镀膜装置，解决上述传统立式连续磁控溅射镀膜线不能适应高效加工OGS镀膜玻璃的难题，不仅提高了OGS玻璃镀膜的高效性与合理性，同时又能保证真空腔体内的尘埃不会落在玻璃待镀膜表面上。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种真空镀膜装置，用于对基板连续磁控溅射镀膜，包括内侧长度与宽度大于高度的卧式隧道状结构的真空腔体、多个水平置于所述真空腔体内的矩形托盘、分别位于所述托盘两侧用于支撑所述托盘且带动所述托盘沿着所述真空腔体长度方向移动的成对传动辊以及设置在所述真空腔体底部的磁控溅射阴极，所述托盘中间区域镂空为矩形，使落于所述托盘上的基板待镀膜表面向下裸露，所述阴极发生磁控溅射的表面位于所述真空腔体内且向上，对所述托盘镂空矩形区域裸露的基板下表面磁控溅射镀膜。

在本实用新型的真空镀膜装置中，所述传动辊包括密闭地穿过所述真空腔体两侧壁的传动轴、与所述传动轴在所述真空腔体内部连接的圆柱辊以及与所述传动轴在所述真空腔体外部连接的皮带轮，所述传动轴与所述圆柱辊采用易拆卸结构紧固连接，所述托盘的两端分别落在两侧所述圆柱辊上。

在本实用新型的真空镀膜装置中，所述传动辊在所述真空腔体内的数量至少15对，并且沿着所述真空腔体长度方向间隔设置。

在本实用新型的真空镀膜装置中，所述托盘包括金属板，所述金属板的四周设有加强筋，所述金属板中间区域至少镂空出一个与所述金属板周边分别平行的矩形，距离每个所述镂空矩形四个边缘2毫米至20毫米处设有定位条。

在本实用新型的真空镀膜装置中，所述托盘的加强筋由所述金属板的四周边折弯90度或90度以上构成，或者由垂直地焊接于所述金属板四周且距离边缘2毫米至10毫米的长方形金属条构成。