[实用新型]合金蒸镀装置有效
| 申请号： | 201320320850.0 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN203360559U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈宜杰;苏奕全 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 中国台湾新竹县湖*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种合金蒸镀装置，其特征在于，包括：
一中空本体；
一储料容器，设于该中空本体内部，且其上设置有一第一容置槽、一第二容置槽以及一加热区域；
一第一金属镀膜材，设于该第一容置槽内；
一第二金属镀膜材，设于该第二容置槽内，其中，该储料容器的熔点较该第一金属镀膜材与该第二金属镀膜材的沸点高；
一被蒸镀物，设于该中空本体内，且位于该储料容器上方；以及
一电子加热单元，设于该中空本体内。
2.根据权利要求1所述的合金蒸镀装置，其特征在于，还包括：
一旋转基座，设于该中空本体内，且该被蒸镀物固定于该旋转基座上。
3.根据权利要求1所述的合金蒸镀装置，其特征在于，其中，该电子加热单元为一可调整角度的电子枪。
4.根据权利要求3所述的合金蒸镀装置，其特征在于，其中，该可调整角度的电子枪根据该第一金属镀膜材与该第二金属镀膜材的沸点来调整角度。
5.根据权利要求1所述的合金蒸镀装置，其特征在于，其中，该储料容器上还设置有一第三容置槽，用以容置一第三金属镀膜材。
6.根据权利要求5所述的合金蒸镀装置，其特征在于，其中，该电子加热单元为一可调整角度的电子枪，且该可调整角度的电子枪根据该第一金属镀膜材、该第二金属镀膜材与该第三金属镀膜材的沸点来调整角度。
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