[实用新型]一种应用于微细电铸中的阴极单元有效
| 申请号： | 201320328746.6 | 申请日： | 2013-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN203295632U | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 范祥荣 | 申请（专利权）人： | 苏州市金翔钛设备有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/10 | 分类号： | C25D1/10 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 微细 电铸 中的 阴极 单元 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于微细电铸中的阴极单元，包括水平设置阴极模板以及夹具体，其特征在于，所述阴极模板边缘通过密封块封闭，所述夹具体包括上部设有开口的桶状固定槽，所述固定槽内部设有与所述阴极模板接触的加热装置。
2.根据权利要求1所述的一种应用于微细电铸中的阴极单元，其特征在于，加热装置包括内设有电阻丝的加热板，所述加热板上方设有与所述阴极模板连接的传热垫片。
3.根据权利要求1所述的一种应用于微细电铸中的阴极单元，其特征在于，所述固定槽为绝缘槽。
4.根据权利要求1所述的一种应用于微细电铸中的阴极单元，其特征在于，所述固定槽内还设有一端与所述加热板连接，一端伸出所述固定槽的温度传感器。
5.根据权利要求1所述的一种应用于微细电铸中的阴极单元，其特征在于，所述温度传感器上还套有绝缘套。
6.根据权利要求1所述的一种应用与微细电铸中的阴极单元，其特征在于，所述密封块通过紧固螺栓固定在所述固定槽中。
7.根据权利要求2所述的一种应用与微细电铸中的阴极单元，其特征在于，所述加热板和传热垫片为铜质。
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