[实用新型]一种用于在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置有效
申请号: | 201320342763.5 | 申请日: | 2013-06-14 |
公开(公告)号: | CN203312251U | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 崔桂彬;鞠新华;郝京丽;贾惠平 | 申请(专利权)人: | 首钢总公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 | 代理人: | 刘月娥 |
地址: | 100041 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 扫描电镜 观察 超薄 样品 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置,其特征在于,样品托(4)为长方体,表面有三个等间距的凹槽,间距范围为4.5~6.5mm,凹槽贯穿于宽度方向,与长度方向垂直,每个凹槽上檐均有三个等间距圆孔,圆孔深度为80~120μm,圆孔直径范围3.1~3.5mm。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,样品托(4)的材质为铝合金材料。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,样品托(4)上的样品为直径2.8~3mm的超薄圆片(3)或附有碳膜(1)的铜网(2),超薄圆片(3)厚度为50~300μm。
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