[实用新型]一种用于在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置有效

专利信息
申请号: 201320342763.5 申请日: 2013-06-14
公开(公告)号: CN203312251U 公开(公告)日: 2013-11-27
发明(设计)人: 崔桂彬;鞠新华;郝京丽;贾惠平 申请(专利权)人: 首钢总公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 代理人: 刘月娥
地址: 100041 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 扫描电镜 观察 超薄 样品 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于实验设备制造技术领域,特别涉及一种用于在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置。

背景技术

目前,用扫描电镜观察超薄圆片或载有碳膜的铜网样品主要是采用直接观察法,即将要观察的超薄圆片或载有碳膜的铜网样品用导电胶带直接固定在样品台上,然后放入扫描电镜中进行观察。该方式的不足之处主要是在于进行样品中纳米颗粒的成分检测时,不仅能检测到纳米颗粒本身的信号,还能检测到大量的背底信号(基体组织或样品台表面的信号),在背底信号的影响下,其纳米颗粒的信号就变得十分微弱,尤其是对于50nm以内的颗粒物,其影响更为突出。

本实用新型提供了一种可以在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置,为材料科学领域进行超薄圆片或碳膜样品的观察,以及微纳米尺寸颗粒物的精确检测与分析奠定了基础。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置。

本实用新型样品托为长方体,其表面有三个等间距凹槽,间距范围为4.5~6.5mm,凹槽贯穿于宽度方向,与长度方向垂直,每个凹槽上檐均有三个等间距的圆孔,圆孔深度为80~120μm,圆孔直径大于凹槽宽度,圆孔直径范围3.1~3.5mm。本实用新型的辅助工具有高精密尖头专用镊子、导电胶带,以及铜网等。

样品托的材质为铝合金材料。

样品托上的样品为直径为2.8~3mm的超薄圆片或附有碳膜的铜网样品,圆片厚度为50~300μm。

该装置的工作原理为:将超薄圆片或附有碳膜的铜网样品用高精密尖头专用镊子夹住并放到样品托的凹槽上圆形浅孔位置,再用导电胶带将其固定,紧接着将固定好的样品托固定在样品台上,放入扫描电镜内进行观察;观察完毕取样时,首先将样品托从样品台上取下,再将固定超薄圆片或附有碳膜的铜网样品的导电胶带撕下来,用高精密尖头专用镊子取下样品,放入专用样品盒内,以便于下次观察。

本实用新型的优点在于:一次性可以放置多个超薄圆片或附有碳膜的铜网样品,且样品托上设计的凹槽可以很好的避免检测成分时背底信号的影响,定性结果更为准确,操作简便,快捷,实用性强。

附图说明

图1为样品托装置的三维组合示意图。其中,碳膜1、铜网2、超薄圆片3、样品托4。

图2为样品托装置的二维俯视图。

图3为图2中样品托装置的A-A剖面图。

具体实施方式

图1-图3为本实用新型的一种具体实施方式。

本实用新型样品托4为长方体,其表面有三个等间距凹槽,间距范围为5mm,凹槽贯穿于宽度方向,与长度方向垂直,每个凹槽上檐均有三个等间距圆孔,深度为100μm,,圆孔直径为3.2mm。

样品托4的材质为铝合金材料。

该装置所观察的样品为附有碳膜1的铜网2,铜网2直径为3mm,内孔径90μm;铜网2厚度100μm。

工作原理为:将一个附有碳膜1的铜网2样品用高精密尖头专用镊子夹住并放到样品托4的凹槽上圆形浅孔位置,再用导电胶带将其固定,紧接着将固定好的样品托4固定在样品台上,放入扫描电镜内进行观察;观察完毕取样时,首先将样品托4从样品台上取下,再将固定铜网2的导电胶带撕下来,用高精密尖头专用镊子取下附有碳膜1的铜网2样品,放入专用样品盒内即可。

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