[实用新型]一种单晶硅棒存储装置

权利要求书

1.一种单晶硅棒存储装置，包括支撑柱；其特征在于，在支撑柱上安装有底板，一对长条形的上面板相互平行地安装于底板上，两个上面板的相对侧分别设置滚轮支架；滚轮支架上装有滚轮，两边的滚轮对向安装且相互之间留有间距；在位于两个上面板之间的底板上，还安装有用于测量单晶硅棒长度的气缸；气缸的运动部位是一个能够沿底板长度方向运行的方形平台，其上部安设有撞块，并在侧面设有位移传感器；在与方形平台相对一端的底板上设端面挡柱，端面挡柱上设有作为单晶硅棒长度测量零点的固定支点；在底板和上面板的两侧相对装有单晶硅棒检测传感器支架，单晶硅棒检测传感器支架上设有用于检测单晶硅棒尺寸和形状的传感器。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒存储装置，其特征在于，所述滚轮支架呈长条形，其横向截面呈折线形状；滚轮支架沿长度方向安装于上面板的表面，所述滚轮安装于滚轮支架的弯折部位。

3.根据权利要求1或2所述的单晶硅棒存储装置，其特征在于，所述滚轮为外部包有橡胶的轴承，其数量为2N个，N为大于1的整数；滚轮有两种形式：A、滚轮的橡胶外圈为平面，用于支撑方形单晶硅棒；B、滚轮的橡胶外圈为弧面，用于支撑圆形单晶硅棒。

4.根据权利要求1或2所述的单晶硅棒存储装置，其特征在于，所述气缸为磁偶式气缸。

5.根据权利要求1或2所述的单晶硅棒存储装置，其特征在于，所述位移传感器为磁位移传感器。

6.根据权利要求1或2所述的单晶硅棒存储装置，其特征在于，所述用于检测单晶硅棒尺寸和形状的传感器为光纤式激光传感器。