[实用新型]掩模版定位及传输装置

权利要求书

1.一种掩模版定位及传输装置，其特征在于，包括：X向运动单元和Y向运动单元，其中，所述X向运动单元包括：前端安全定位件、末端安全定位件、用于控制所述前端安全定位件的第一气缸以及用于控制所述末端安全定位件的第二气缸，所述Y向运动单元包括：夹持板、多个夹持爪以及Y向气缸；

所述前端安全定位件分设于所述掩模版定位及传输装置的前端两侧，所述末端安全定位件与所述前端安全定位件共同形成掩模版的夹持区域；

所述多个夹持爪设置于所述夹持板的夹持区域处，所述夹持板的一端设置于一支撑件的底部，并由所述Y向气缸控制移动。

2.如权利要求1所述的掩模版定位及传输装置，其特征在于，还包括传感器检测单元，所述传感器检测单元包括X向传感器、末端检测传感器、Y向传感器以及掩模版检测器，所述X向传感器设置于所述第一气缸处，所述末端检测传感器设置于所述第二气缸处，所述Y向传感器设置于所述Y向气缸处，所述掩模版检测器固定于所述夹持板上。

3.如权利要求1所述的掩模版定位及传输装置，其特征在于，所述夹持板通过一导轨设置于所述支撑件的底部。

4.如权利要求1所述的掩模版定位及传输装置，其特征在于，还包括设置于支撑件上的弹簧，所述弹簧的两端分别与所述夹持板相连。

5.如权利要求1所述的掩模版定位及传输装置，其特征在于，所述前端安全定位件、末端安全定位件以及夹持爪上均设置有采用防静电材料制成的圆点衬垫。

6.如权利要求1所述的掩模版定位及传输装置，其特征在于，所述第一气缸、第二气缸以及Y向气缸均采用双作用气缸。

7.如权利要求1所述的掩模版定位及传输装置，其特征在于，还包括与外部运动单元连接的外部接口单元。