[实用新型]掩模版定位及传输装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别涉及一种掩模版定位及传输装置。 

背景技术

掩模传输是光刻机等众多曝光设备中重要传输系统之一，其主要作用是将指定的掩模版从掩模版存储机构中取出，然后传输到掩模台分系统或曝光分系统中。掩模版传输过程中，尤其是长距离传输必须保证掩模版在传输过程中平稳、安全、并且不得产生颗粒污染，整个过程必须满足高速、高精度和高可靠性的要求。掩模版夹持手是掩模传输系统中重要装置，它是夹持、固定和承载掩模版的重要结构，直接影响到掩模版传输性能。常用掩模版夹持手采用真空吸附的方法往往产生真空气路堵塞或漏气现象，比如真空吸附窗口的破损导致真空气路堵塞，掩模版或机械手上存在的颗粒物使真空吸附处不能紧密地贴合导致漏气等，这些都会导致真空吸附力的下降，当吸附后就不能再次对掩模版位置进行调整，从而影响掩模版传输和交接精度，并且通常在版叉上没有对掩模进行调平和检测功能，使设备的可靠性降低。 

实用新型内容

本实用新型提供一种掩模版定位及传输装置，以解决掩模版交接时定位和传输不稳定、可靠性低的问题。 

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种掩模版定位及传输装置，包括：X向运动单元和Y向运动单元，其中，所述X向运动单元包括：前端安全定位件、末端安全定位件、用于控制所述前端安全定位件的第一气缸以及用于控制所述末端安全定位件的第二气缸，所述Y向运动单元包括：夹持板、多个夹持爪以及Y向气缸；所述前端安全定位件分设于所述掩模版定位及传输装置的前端两侧，所述末端安全定位件与所述前端安全定位件共同形成掩模版的夹持区 域；所述多个夹持爪设置于所述夹持板的夹持区域处，所述夹持板的一端设置于一支撑件的底部，并由所述Y向气缸控制移动。 

作为优选，还包括传感器检测单元，所述传感器检测单元包括X向传感器、末端检测传感器、Y向传感器以及掩模版检测器，所述X向传感器设置于所述第一气缸处，所述末端检测传感器设置于所述第二气缸处，所述Y向传感器设置于所述Y向气缸处，所述掩模版检测器固定于所述夹持板上。 

作为优选，所述夹持板通过一导轨设置于所述支撑件的底部。 

作为优选，还包括设置于支撑件上的弹簧，所述弹簧的两端分别与所述夹持板相连。 

作为优选，所述前端安全定位件、末端安全定位件以及夹持爪上均设置有采用防静电材料制成的圆点衬垫。 

作为优选，所述第一气缸、第二气缸以及Y向气缸均采用双作用气缸。 

作为优选，还包括与外部运动单元连接的外部接口单元。 

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型采用前端安全定位件和末端安全定位件，可以实现掩模版交接时的水平度调节功能，提高掩模版定位精度，同时提高了掩模版的传输可靠性。 

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式中掩模版定位及传输装置的结构示意图； 

图2为本实用新型一具体实施方式中X向运动单元的结构示意图； 

图3为本实用新型一具体实施方式中Y向运动单元的结构示意图； 

图4a～4d分别为本实用新型一具体实施方式中传感器检测单元中各部件的结构示意图； 

图5a～5b分别为本实用新型一具体实施方式中圆点衬垫的结构示意图； 

图6a～6d为本实用新型一具体实施方法中抓取掩模版过程中掩模版定位及传输装置的主视图； 

图7a～7d为本实用新型一具体实施方法中放置掩模版过程掩模版定位及传输装置的主视图。 

图中：100-X向运动单元、110-前端安全定位件、120-末端安全定位件、130- 第一气缸、140-第二气缸、200-Y向运动单元、210-夹持爪、220-夹持板、230-Y向气缸、240-导轨、250-弹簧、310-X向传感器、320-Y向传感器、330-掩模版检测器、340-末端检测传感器、400-支撑件、500-圆点衬垫、600-掩模版。 

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。