[实用新型]除气泡装置

权利要求书

1.一种除气泡装置，包括支撑固定单元和压力单元，其特征在于，

所述支撑固定单元用于支撑和固定待处理物品；

所述压力单元包括接触单元，所述接触单元用于与所述待处理物品表面紧密接触，且其与所述待处理物品的接触面能在压力作用下逐渐向外扩展。

2.根据权利要求1所述的除气泡装置，其特征在于，所述待处理物品为两个贴合在一起的基板。

3.根据权利要求1所述的除气泡装置，其特征在于，所述接触单元包括能弹性变形的外壳，以及封闭在外壳内的可流动介质。

4.根据权利要求3所述的除气泡装置，其特征在于，所述压力单元还包括用于向所述接触单元加压的加压单元。

5.根据权利要求1所述的除气泡装置，其特征在于，所述接触单元包括一个中心棒和多层依次嵌套在中心棒外的嵌套单元。

6.根据权利要求5所述的除气泡装置，其特征在于，所述压力单元还包括加压单元，所述加压单元用于依次给各层嵌套单元加压，使各层嵌套单元从内到外依次与所述待处理物品表面接触。

7.根据权利要求1所述的除气泡装置，其特征在于，所述支撑固定单元包括：

用于放置所述待处理物品的水平支撑面；

设于所述支撑面上的用于固定所述待处理物品的夹具。

8.根据权利要求7所述的除气泡装置，其特征在于，所述夹具能在所述支撑面上移动。

9.根据权利要求1所述的除气泡装置，其特征在于，包括用于对所述待处理物品进行加热的加热单元。

10.根据权利要求9所述的除气泡装置，其特征在于，所述加热单元包括电加热丝，所述电加热丝位于所述支撑固定单元下方。

11.根据权利要求9或10中所述的除气泡装置，其特征在于，还包括：

用于检测所述待处理物品温度的温度传感器；

用于对加热单元进行控制的控制单元。