[实用新型]一种镀减反射膜设备

权利要求书

1.一种镀减反射膜设备，包括进料腔室、预热腔室、工艺腔室、冷却腔室和出料腔室，其特征在于，所述进料腔室、所述预热腔室和所述工艺腔室的顶部均至少设置有一个气体吹扫装置，所述进料腔室、所述预热腔室和所述工艺腔室的底部均至少设置有一个碎屑排出口。

2.根据权利要求1所述的镀减反射膜设备，其特征在于，所述冷却腔室和所述出料腔室的顶部均至少设置有一个气体吹扫装置，且所述冷却腔室和所述出料腔室底部均至少设置有一个碎屑排出口。

3.根据权利要求2所述的镀减反射膜设备，其特征在于，所述进料腔室、所述预热腔室、所述工艺腔室、所述冷却腔室和所述出料腔室的顶部中央区域均设置有一个气体吹扫装置。

4.根据权利要求2所述的镀减反射膜设备，其特征在于，所述进料腔室、所述预热腔室、所述工艺腔室、所述冷却腔室和所述出料腔室的顶部中央区域和顶部各角位置均设置有一个气体吹扫装置。

5.根据权利要求2所述的镀减反射膜设备，其特征在于，所述进料腔室、所述预热腔室、所述工艺腔室、所述冷却腔室和所述出料腔室的底部各角位置均设置有一个碎屑排出口。

6.根据权利要求2所述的镀减反射膜设备，其特征在于，所述进料腔室、所述预热腔室、所述工艺腔室、所述冷却腔室和所述出料腔室的底部各边缘区域均至少设置有一个碎屑排出口。

7.根据权利要求1-6任意一项权利要求所述的镀减反射膜设备，其特征在于，所述气体吹扫装置为氮气吹扫装置。