[实用新型]硅冷却液废液处理装置

权利要求书

1. 一种硅冷却液废液处理装置，其特征在于包括：

膜模块，具有中空纤维膜；

第一流路，连结于所述膜模块的一端部；

第二流路，连结于所述膜模块的另一端部；

泵，送出由硅冷却液废液构成的原液；

方向切换机构，能够在从所述泵送出的所述原液从所述第一流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第一状态、与所述原液从所述第二流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第二状态之间，切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向；

反洗机构，利用反洗用流体直接或间接对所述中空纤维膜施加外压，以进行所述中空纤维膜的反洗；

滤液流出通路，使经所述膜模块过滤的滤液从所述膜模块流出；

第一排出通路，排出基于从所述第一流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液而被浓缩的浓缩液；

第二排出通路，排出基于从所述第二流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液而被浓缩的浓缩液；其中，

所述方向切换机构被构成为，在所述泵被驱动而进行过滤时与利用所述反洗机构进行所述中空纤维膜的反洗时之间的期间，能够在所述第一状态与所述第二状态之间切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向。

2. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述方向切换机构被构成为，每当进行过滤时能够在所述第一状态与所述第二状态之间切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向。

3. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述方向切换机构具有设置在所述第一流路中的第一流入侧开闭阀、设置在所述第二流路中的第二流入侧开闭阀、设置在所述第一排出通路中的第一流出侧开闭阀、以及设置在所述第二排出通路中的第二流出侧开闭阀。

4. 根据权利要求3所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述反洗机构具有使反洗用流体流向所述膜模块的流体供应通路、以及设置在所述流体供应通路中的反洗用开闭阀。

5. 根据权利要求4所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述流体供应通路连接于所述滤液流出通路，

所述滤液流出通路中，在比所述流体供应通路的连接部更下游侧的部位设置有开闭阀。

6. 根据权利要求4所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述反洗用流体为空气，

所述流体供应通路中设置有过滤器。

7. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述第一排出通路连接于所述第二流路，

所述第二排出通路连接于所述第一流路。

8. 根据权利要求7所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于还包括：

第一压力计，检测流经所述第一流路的所述原液的压力；

第二压力计，检测流经所述第二流路的所述原液的压力。

9. 根据权利要求8所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于还包括：

送出通路，将所述泵与所述第一流路及所述第二流路连接；其中，

所述送出通路上连接有绕过所述膜模块的旁通路，

所述旁通路中设置有开闭阀。

10. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述膜模块中设置有放液机构。

11. 根据权利要求1所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述反洗用流体为空气。

12. 根据权利要求2所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于还包括：

控制部，控制所述反洗机构及所述方向切换机构；其中，

所述控制部被构成为，每当进行过滤时所述方向切换机构在所述第一状态与所述第二状态之间进行所述原液的往所述膜模块内的流动方向的切换。

13. 根据权利要求4所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于还包括：

控制部，控制所述反洗机构及所述方向切换机构；其中，

所述控制部被构成为，每当进行过滤时在所述第一流入侧开闭阀及所述第一流出侧开闭阀开放并且所述第二流入侧开闭阀及所述第二流出侧开闭阀闭塞的所述第一状态、与所述第二流入侧开闭阀及所述第二流出侧开闭阀开放并且所述第一流入侧开闭阀及所述第一流出侧开闭阀闭塞的所述第二状态之间进行切换。

14. 根据权利要求1至13中任一项所述的硅冷却液废液处理装置，其特征在于：

所述方向切换机构在进行反洗时，在所述第一状态与所述第二状态之间不进行切换。