[实用新型]硅冷却液废液处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅冷却液废液处理装置。

背景技术

以往已知如日本专利公开公报特开2010-221337号所公开的用于处理被使用过的冷却液(以下称作冷却液废液)以使冷却液废液能够再利用的处理装置。基于制造成本的观点，冷却液废液被再利用，但由于含有切削屑及磨粒等，因此无法直接使用。为此，所述处理装置通过去除切削屑等来实施将冷却液废液变为可再利用状态的处理。具体而言，日本专利公开公报特开2010-221337号所公开的处理装置中，设置有从冷却液废液分离磨粒及切削屑等的离心分离机、以及从通过离心分离机去除了磨粒及切削屑等的冷却液中进一步将切削屑等进行膜分离的膜模块。

膜模块中设置有形成有微细孔的分离膜，导入膜模块内的原液(冷却液废液)分离为通过分离膜的微细孔的滤液和无法通过微细孔的浓缩液。并且，当进行膜过滤时，附着于膜面的堆积物量会逐渐增加而导致膜差压上升，因此须用处理液对膜面进行与滤液的流动方向反向的反洗。

作为分离膜，可使用中空纤维膜。而且，在使用中空纤维膜的情况下，可采用将经泵加压的原液导入中空纤维膜内以使滤液从膜的内侧流出到外侧的方案。此时，通过利用反洗用流体从外侧对中空纤维膜施加压力来进行反洗。

当使用中空纤维膜来作为分离膜时，从原液的入口侧至出口侧的压力损失增大。因此，在中空纤维膜中，原液的入口附近的过滤量较多，出口附近的过滤量较少。因此，附着于膜面的堆积物在入口附近也较多，而在出口附近较少。

进行反洗时，在维持原液流动的状态下，通过反洗用流体施加外压，但由于在入口附近，原液的压力高，因此反洗用流体的外压难以发挥作用。因此，在更多的堆积物附着的入口附近难以获得反洗效果。

尤其是用于切断硅锭的硅冷却液由于粘度高，因此原液(被使用过的硅冷却液(以下称作硅冷却液废液))的入口侧的压力与出口侧的压力间的压力损失大。因此，在入口附近无法获得反洗效果的情况变得显著。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种解决上述问题的硅冷却液废液处理装置。具体而言，本实用新型的目的在于提供一种能够提高反洗效果的硅冷却液废液处理装置。

根据本实用新型所涉及的硅冷却液处理装置，硅冷却液处理装置包括：膜模块，具有中空纤维膜；第一流路，连结于所述膜模块的一端部；第二流路，连结于所述膜模块的另一端部；泵，送出由硅冷却液废液构成的原液；方向切换机构，能够在从所述泵送出的所述原液从所述第一流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第一状态、与所述原液从所述第二流路流入所述膜模块的所述中空纤维膜内部的第二状态之间，切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向；反洗机构，利用反洗用流体直接或间接对所述中空纤维膜施加外压，以进行所述中空纤维膜的反洗；滤液流出通路，使经所述膜模块过滤的滤液从所述膜模块流出；第一排出通路，排出基于从所述第一流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液而被浓缩的浓缩液（也就是，排出从所述第一流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液中，不通过该中空纤维膜而被浓缩的浓缩液）；第二排出通路，排出基于从所述第二流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液而被浓缩的浓缩液（也就是，排出从所述第二流路流入所述中空纤维膜内部的所述原液中，不通过该中空纤维膜而被浓缩的浓缩液）；其中，所述方向切换机构被构成为，在所述泵被驱动而进行过滤时与利用所述反洗机构进行所述中空纤维膜的反洗时之间的期间，能够在所述第一状态与所述第二状态之间切换所述原液的往所述膜模块内的流动方向。

根据本实用新型的硅冷却液废液处理装置，能够提高反洗效果。

附图说明

图1是表示本实用新型的实施方式所涉及的硅冷却液废液处理装置的概略结构的图。

图2是用于说明在过滤工序与反洗工序之间维持原液的流动方向时的、原液的流体压力与反洗用流体的外压之间的关系的图。

图3是用于说明在过滤工序与反洗工序之间切换原液的流动方向时的、原液的流体压力与反洗用流体的外压之间的关系的图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明用于实施本实用新型的形态。

图1概略表示本实用新型所涉及的硅冷却液废液处理装置的一实施方式。如图1所示，本实施方式所涉及的硅冷却液废液处理装置(以下简称作处理装置)10具备泵P-1、膜模块12、将从泵P-1送出的原液(硅冷却液废液)导向膜模块12的导入通路14、供经膜模块12过滤的滤液流动的滤液流出通路16、及排出经膜模块12由原液浓缩的浓缩液的排出通路18。

泵P-1将贮留在原液罐20中的原液抽吸，并从喷出口喷出。