[实用新型]硅片自动吹干装置有效
| 申请号： | 201320384945.9 | 申请日： | 2013-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203518477U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 周建国;夏利荣 | 申请（专利权）人： | 常州市立威刀具有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B21/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 自动 吹干 装置 | ||
【权利要求书】：
1.硅片自动吹干装置，其特征在于：包括支撑体、设置在支撑体上对硅片进行运输的输送装置、对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置，及对输送装置上的硅片进行检测的检测器，以及控制吹气装置的控制器，所述检测器与控制器相连接。
2.根据权利要求1所述的硅片自动吹干装置，其特征在于：所述输送装置包括设置在支撑体上的上辊轴、下辊轴以及分别设置在上辊轴、下辊轴上的上辊轮、下辊轮，在上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道。
3.根据权利要求1所述的硅片自动吹干装置，其特征在于：所述吹气装置包括抽风机、吹风管道，抽风机的输出端连接吹风管道，吹风管道包括位于输送装置上、下方的上管道、下管道，所述上管道、下管道上设置有多个出风孔。
4.根据权利要求3所述的硅片自动吹干装置，其特征在于：所述出风孔为锥形设计。
5.根据权利要求1-4任一项所述的硅片自动吹干装置，其特征在于：所述支撑体为上端开口的槽体。
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