[实用新型]硅片自动吹干装置有效
申请号: | 201320384945.9 | 申请日: | 2013-06-30 |
公开(公告)号: | CN203518477U | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 周建国;夏利荣 | 申请(专利权)人: | 常州市立威刀具有限公司 |
主分类号: | F26B15/12 | 分类号: | F26B15/12;F26B21/00;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 自动 吹干 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种吹干装置,具体涉及一种在硅片电池生产线中,对硅片表面吹干的硅片自动吹干装置。
背景技术
目前,在硅片电池生产线中,需要对硅片进行吹干,现有的吹干方法不能够对硅片彻底的吹干,并且在吹干过程中,容易造成对硅片的损伤。
发明内容
针对上述技术问题,本实用新型提供一种硅片自动吹干装置,其能够对硅片进行彻底的吹干,并能够保证硅片不受损伤。
实现本实用新型的技术方案如下:
硅片自动吹干装置,包括支撑体、设置在支撑体上对硅片进行运输的输送装置、对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置,及对输送装置上的硅片进行检测的检测器,以及控制吹气装置的控制器,所述检测器与控制器相连接。
所述输送装置包括设置在支撑体上的上辊轴、下辊轴以及分别设置在上辊轴、下辊轴上的上辊轮、下辊轮,在上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道。
所述吹气装置包括抽风机、吹风管道,抽风机的输出端连接吹风管道,吹风管道包括位于输送装置上、下方的上管道、下管道,所述上管道、下管道上设置有多个出风孔。
所述出风孔为锥形设计,从而增大风吹到硅片上的面积,提高了吹干效率。
所述支撑体为上端开口的槽体,槽体设计能够对吹落的杂质以及水进行收集,保证工作现场的干净整洁。
采用了上述方案,在硅片进入上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道时,检测器就会对其进行检测并将检测的信号传送给控制器,控制器则控制抽风机工作,向吹风管道中送风,从上管道、下管道的出风孔中对硅片的上、下表面进行彻底的吹干,提高吹干效率。本实用新型能够对硅片进行彻底的吹干,并能够保证硅片不受损伤。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图中,1为支撑槽体,2为上辊轴,3为下辊轴,4为上辊轮,5为下辊轮,6为抽风机,7为上管道,8为下管道,9为出风孔,10为检测器,11为控制器。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。
参见图1,硅片自动吹干装置,包括支撑槽体1、设置在支撑槽体1上对硅片进行运输的输送装置,其输送装置包括设置在支撑槽体上的上辊轴2、下辊轴3以及分别设置在上辊轴、下辊轴上的上辊轮4、下辊轮5,在上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道。
其中,设置在支撑槽体内对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置,其包括抽风机6、吹风管道,抽风机的输出端连接吹风管道,吹风管道包括位于输送装置上、下方的上管道7、下管道8,上管道7、下管道8上设置有多个出风孔9。出风孔9为锥形设计。
以及对输送装置上的硅片进行检测的检测器10,以及控制吹气装置的控制器,所述检测器与控制器11相连接。
在硅片进入上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道时,检测器就会对其进行检测并将检测的信号传送给控制器,控制器则控制抽风机工作,向吹风管道中送风,从上管道、下管道的出风孔中对硅片的上、下表面进行彻底的吹干,提高吹干效率。
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