[实用新型]硅片自动吹干装置有效

专利信息
申请号: 201320384945.9 申请日: 2013-06-30
公开(公告)号: CN203518477U 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 周建国;夏利荣 申请(专利权)人: 常州市立威刀具有限公司
主分类号: F26B15/12 分类号: F26B15/12;F26B21/00;H01L31/18
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 何学成
地址: 213000 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 自动 吹干 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种吹干装置,具体涉及一种在硅片电池生产线中,对硅片表面吹干的硅片自动吹干装置。

背景技术

目前,在硅片电池生产线中,需要对硅片进行吹干,现有的吹干方法不能够对硅片彻底的吹干,并且在吹干过程中,容易造成对硅片的损伤。

发明内容

针对上述技术问题,本实用新型提供一种硅片自动吹干装置,其能够对硅片进行彻底的吹干,并能够保证硅片不受损伤。

实现本实用新型的技术方案如下:

硅片自动吹干装置,包括支撑体、设置在支撑体上对硅片进行运输的输送装置、对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置,及对输送装置上的硅片进行检测的检测器,以及控制吹气装置的控制器,所述检测器与控制器相连接。

所述输送装置包括设置在支撑体上的上辊轴、下辊轴以及分别设置在上辊轴、下辊轴上的上辊轮、下辊轮,在上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道。

所述吹气装置包括抽风机、吹风管道,抽风机的输出端连接吹风管道,吹风管道包括位于输送装置上、下方的上管道、下管道,所述上管道、下管道上设置有多个出风孔。

所述出风孔为锥形设计,从而增大风吹到硅片上的面积,提高了吹干效率。

所述支撑体为上端开口的槽体,槽体设计能够对吹落的杂质以及水进行收集,保证工作现场的干净整洁。

采用了上述方案,在硅片进入上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道时,检测器就会对其进行检测并将检测的信号传送给控制器,控制器则控制抽风机工作,向吹风管道中送风,从上管道、下管道的出风孔中对硅片的上、下表面进行彻底的吹干,提高吹干效率。本实用新型能够对硅片进行彻底的吹干,并能够保证硅片不受损伤。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图中,1为支撑槽体,2为上辊轴,3为下辊轴,4为上辊轮,5为下辊轮,6为抽风机,7为上管道,8为下管道,9为出风孔,10为检测器,11为控制器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。

参见图1,硅片自动吹干装置,包括支撑槽体1、设置在支撑槽体1上对硅片进行运输的输送装置,其输送装置包括设置在支撑槽体上的上辊轴2、下辊轴3以及分别设置在上辊轴、下辊轴上的上辊轮4、下辊轮5,在上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道。

其中,设置在支撑槽体内对输送装置上的硅片进行吹气的吹气装置,其包括抽风机6、吹风管道,抽风机的输出端连接吹风管道,吹风管道包括位于输送装置上、下方的上管道7、下管道8,上管道7、下管道8上设置有多个出风孔9。出风孔9为锥形设计。

以及对输送装置上的硅片进行检测的检测器10,以及控制吹气装置的控制器,所述检测器与控制器11相连接。

在硅片进入上辊轮、下辊轮之间形成输送辊道时,检测器就会对其进行检测并将检测的信号传送给控制器,控制器则控制抽风机工作,向吹风管道中送风,从上管道、下管道的出风孔中对硅片的上、下表面进行彻底的吹干,提高吹干效率。

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