[实用新型]真空密封件分压漏率测量装置

权利要求书

1.一种真空密封件分压漏率测量装置，其特征在于：包括一个超高真空室(2)、一个测试室(6)、一个样品室(7)，以及一个第一质谱计(3)和一个第二质谱计(5)，其中，

所述超高真空室(2)与所述测试室(6)通过一个小孔(4)相连通，所述测试室(6)通过一个气体管道(14)与所述样品室(7)相连接；

所述超高真空室(2)与一个第一抽气泵组(1)相连接，该第一抽气泵组(1)用于从该超高真空室(2)中抽取气体；

所述第一质谱计(3)和第二质谱计(5)分别与所述超高真空室(2)和所述测试室(6)相连接，用于测量该超高真空室(2)和测试室(6)内的气体成分的分压。

2.如权利要求1所述的真空密封件分压漏率测量装置，其特征在于，还包括一个第二抽气泵组(11)和一个气瓶(13)，其中，所述第二抽气泵组(11)用于对所述真空密封件(8)进行抽气，所述气瓶(13)用于对所述真空密封件(8)进行充气。

3.如权利要求2所述的真空密封件分压漏率测量装置，其特征在于，所述第二抽气泵组(11)和气瓶(13)分别通过第一截止阀(10)和第二截止阀(12)与所述真空密封件(8)连接。

4.如权利要求1-3中任一项所述的真空密封件分压漏率测量装置，其特征在于，该真空密封件分压漏率测量装置的各个部件的材料均采用316牌号不锈钢。

5.如权利要求1-3中任一项所述的真空密封件分压漏率测量装置，其特征在于，该真空密封件分压漏率测量装置的焊接均采用氩弧自熔焊。

6.如权利要求1-3中任一项所述的真空密封件分压漏率测量装置，其特征在于，该真空密封件分压漏率测量装置的部件间的法兰接口全部采用金属密封。