[实用新型]新型氮气提纯装置

权利要求书

1.新型氮气提纯装置，其特征在于，包括通过管路连接的原料气过滤器(A)、脱氧净化柱(C1)、深度净化柱(C2)、第一水冷却器(E1)、第二水冷却器(E2)和产品气过滤器(B)； 原料气过滤器(A)安装在原料气气源(1)和氢气供应气源(2)与脱氧净化柱(C1)之间的管路上；所述脱氧净化柱(C1)出气口与深度净化柱(C2)进气口连接，深度净化柱(C2)出口与产品气过滤器(B)之间并联第一水冷却器(E1)和第二水冷却器(E2)；产品气过滤器(B)连接产品气收集口(6)。

2.根据权利要求1所述的新型氮气提纯装置，其特征是，所述原料气过滤器(A)的进口管路上设过滤器前压力表(PI01)，在过滤器前压力表(PI01)管路上设有第三截止阀(F03)，在原料气过滤器(A)出口管路上设有过滤器后压力表(PI02)，过滤器后压力表(PI02)上设有第四截止阀(F04)。

3.根据权利要求2所述的新型氮气提纯装置，其特征是，脱氧净化柱(C1)上设置脱氧净化柱温度显示装置(TI01)，脱氧净化柱(C1)出口管路上设有第五截止阀(F05)。

4.根据权利要求3所述的新型氮气提纯装置，其特征是，在深度净化柱(C2)上设置深度净化柱温度显示装置(TI02)，深度净化柱(C2)出口管路与第一水冷却器(E1)进气口及第二水冷却器(E2)进气口管路上分别设置第六截止阀(F06)和第七截止阀(F07)。

5.根据权利要求4所述的新型氮气提纯装置，其特征是，所述第二水冷却器(E2)内设有冷却水流通管路和氮气流通管路，冷却水流通管路两端分别连接冷却水进口(5)与冷却水出口(3)。

6.根据权利要求5所述的新型氮气提纯装置，其特征是，所述产品气过滤器(B)的出气管路上设有产品气纯度监测装置(AE01)和第九截止阀(F09)，产品气纯度监测装置(AE01)管路上还设有第八截止阀(F08)。

7.根据权利要求1或6所述的新型氮气提纯装置，其特征是，所述第一水冷却器(E1)设置有废气排放口(4)。

8.根据权利要求1或6所述的新型氮气提纯装置，其特征是，在氢气供应气源(2)与原料气过滤器(A)之间的连接管路上设有氢气流量表(FI02)和第二截止阀(F02)；在原料气气源(1)与原料气过滤器(A)之间的连接管路上设有原料气流量表(FI01)和截止阀(F01)。