[实用新型]基板减薄固定工具及基板减薄装置

权利要求书

1.一种基板减薄固定工具，用于将基板设置于蚀刻槽内，其特征在于，所述基板减薄固定工具包括：

能够设置于蚀刻槽内，并与基板保持固定的固定机构；以及，

能够带动所述固定机构旋转，以带动基板围绕垂直于基板的一轴心线进行周向旋转的旋转机构，所述旋转机构与所述固定机构连接。

2.根据权利要求1所述的基板减薄固定工具，其特征在于，

所述固定机构包括：

能够夹持基板的至少两个相对侧边，以固定基板的夹持部；

以及，能够在所述旋转机构带动下进行旋转的固定部，所述固定部分别与所述夹持部、所述旋转机构连接。

3.根据权利要求2所述的基板减薄固定工具，其特征在于，

所述夹持部包括：用于夹持基板的第一侧边的多根第一卡条；以及，与多根所述第一卡条相对设置，用于夹持基板的与所述第一侧边相对的第二侧边的多根第二卡条；

所述固定部包括：能够分别设置于基板的两个相对表面的外侧的第一侧框和第二侧框，所述第一侧框和所述第二侧框相互间隔设置；

其中，

所述第一卡条的两端分别连接在所述第一侧框和所述第二侧框上；

所述第二卡条的两端分别连接在所述第一侧框和所述第二侧框上。

4.根据权利要求3所述的基板减薄固定工具，其特征在于，

所述第一卡条的两端采用可拆卸地方式连接在所述第一侧框和所述第二侧框上；和/或，所述第二卡条的两端采用可拆卸地方式连接在所述第一侧框和所述第二侧框上。

5.根据权利要求3所述的基板减薄固定工具，其特征在于，

所述第一卡条上设置有一个或多个用于与基板的第一侧边卡接的第一凹槽；所述第二卡条上设置有一个或多个用于与基板的第二侧边卡接的第二凹槽，且所述第一凹槽和所述第二凹槽的位置相对应。

6.根据权利要求3所述的基板减薄固定工具，其特征在于，

所述蚀刻槽的内壁上设置有能够旋转的旋转臂；

所述旋转机构至少包括：

能够与所述旋转臂配合，以在所述旋转臂带动下，带动所述固定机构围绕垂直于基板的轴心线旋转的旋转轴承，所述旋转轴承与所述固定机构固连。

7.根据权利要求6所述的基板减薄固定工具，其特征在于，

所述旋转轴承至少包括第一旋转轴承和第二旋转轴承，所述第一旋转轴承固连于所述第一侧框上，所述第二旋转轴承固连于所述第二侧框上，且所述第二旋转轴承与所述第一旋转轴承同轴设置。

8.根据权利要求7所述的基板减薄固定工具，其特征在于，

所述第一侧框和所述第二侧框为镂空的平板结构或者由多根条棱拼合而成的框体结构；

所述第一旋转轴承固连于所述第一侧框的中部位置，并位于所述第一侧框的远离所述第二侧框的一侧；

所述第二旋转轴承固连于所述第二侧框的中部位置，并位于所述第二侧框的远离所述第一侧框的一侧。

9.根据权利要求6所述的基板减薄固定工具，其特征在于，所述旋转轴承的外部包覆有采用耐腐蚀材料制成的保护套。

10.一种基板减薄装置，其特征在于，所述基板减薄装置包括：

蚀刻槽；以及，如权利要求1至9任一项所述的基板减薄固定工具，所述基板减薄固定工具设置于所述蚀刻槽内。