[实用新型]基板减薄固定工具及基板减薄装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示装置面板技术领域，尤其涉及一种应用于显示装置面板制造工艺中，对玻璃基板进行浸泡蚀刻减薄时所采用的基板减薄固定工具及基板减薄装置。

背景技术

随着LCD技术的发展，台式液晶显示器、笔记本液晶显示器、手持显示器和大尺寸液晶电视已经越来越普及，为了应对各类液晶显示器薄型化的发展趋势，高世代生产线相继投入到薄型化产品的生产中。在TFT-LCD（Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display）制造过程中，玻璃基板的厚度是至关重要的一环。

现有的玻璃基板薄化的方式有很多，但是主流的薄化技术还是化学薄化，而化学薄化的最主要方法有三种：喷淋式、流瀑式以及浸泡式，其中喷淋式减薄和流瀑式减薄由于生产效率较低、生产设备和原料利用效率较低而很少使用，当前最主要的基板化学薄化方法还是浸泡式减薄。

如图1所示为现有技术中采用浸泡式减薄方式的基板减薄装置的示意图。如图1所示，现有技术中基板减薄装置包括一蚀刻槽10，在蚀刻槽10内盛装有用于蚀刻玻璃基板的蚀刻液，玻璃基板20通过基板减薄固定工具（图中未示出）竖直固定在蚀刻槽10内。在整个薄化过程中，玻璃基板处于固定状态不能移动，然而由于蚀刻液通常采用HF酸（氢氟酸）与水的混合液，由于HF酸的浓度低于水的浓度，因此，在整个蚀刻槽内混合液的浓度不均匀，由此导致玻璃基板薄化速率不均，会出现玻璃基板位于上方的区域由于HF酸浓度较高而导致减薄速率较快，而玻璃基板位于下方的区域减薄速率较慢，从而导致玻璃基板厚度不均。

由此可见，目前浸泡式减薄的主要技术瓶颈就是由于玻璃基板长时间在酸液中浸泡，局部区域经常由于蚀刻液浓度不均而导致玻璃基板厚度不均，从而对玻璃基板的后续生产工艺产生很大影响。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提供一种基板减薄固定工具及基板减薄装置，能够改善由于蚀刻液浓度不均导致玻璃基板厚度不均的问题，提高浸泡式减薄处理后的玻璃基板的厚度均一性。

本实用新型所提供的技术方案如下：

一种基板减薄固定工具，用于将基板设置于蚀刻槽内；所述基板减薄固定工具包括：

能够设置于蚀刻槽内，并与基板保持固定的固定机构；以及，

能够带动所述固定机构旋转，以带动基板围绕垂直于基板的一轴心线进行周向旋转的旋转机构，所述旋转机构与所述固定机构连接。

进一步的，所述固定机构包括：

能够夹持基板的至少两个相对侧边，以固定基板的夹持部；

以及，能够在所述旋转机构带动下进行旋转的固定部，所述固定部分别与所述夹持部、所述旋转机构连接。

进一步的，所述夹持部包括：用于夹持基板的第一侧边的多根第一卡条；以及，与多根所述第一卡条相对设置，用于夹持基板的与所述第一侧边相对的第二侧边的多根第二卡条；

所述固定部包括：能够分别设置于基板的两个相对表面的外侧的第一侧框和第二侧框，所述第一侧框和所述第二侧框相互间隔设置；

其中，

所述第一卡条的两端分别连接在所述第一侧框和所述第二侧框上；

所述第二卡条的两端分别连接在所述第一侧框和所述第二侧框上。

进一步的，所述第一卡条的两端采用可拆卸地方式连接在所述第一侧框和所述第二侧框上；和/或，所述第二卡条的两端采用可拆卸地方式连接在所述第一侧框和所述第二侧框上。

进一步的，所述第一卡条上设置有一个或多个用于与基板的第一侧边卡接的第一凹槽；所述第二卡条上设置有一个或多个用于与基板的第二侧边卡接的第二凹槽，且所述第一凹槽和所述第二凹槽的位置相对应。

进一步的，所述蚀刻槽的内壁上设置有能够旋转的旋转臂；

所述旋转机构至少包括：

能够与所述旋转臂配合，以在所述旋转臂带动下，带动所述固定机构围绕垂直于基板的轴心线旋转的旋转轴承，所述旋转轴承与所述固定机构固连。

进一步的，所述旋转轴承至少包括第一旋转轴承和第二旋转轴承，所述第一旋转轴承固连于所述第一侧框上，所述第二旋转轴承固连于所述第二侧框上，且所述第二旋转轴承与所述第一旋转轴承同轴设置。

进一步的，所述第一侧框和所述第二侧框均为镂空的平板结构或者由多根条棱拼合而成的框体结构；

所述第一旋转轴承固连于所述第一侧框的中部位置，并位于所述第一侧框的远离所述第二侧框的一侧；

所述第二旋转轴承固连于所述第二侧框的中部位置，并位于所述第二侧框的远离所述第一侧框的一侧。