[实用新型]具有强化结构的MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201320452760.7 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN203368757U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 强化 结构 mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有强化结构的MEMS麦克风，其特征在于，
基底，在该基底中形成有背孔；
穿孔背板，该穿孔背板支撑在所述基底上并设置在所述基底中的背孔的上方；
振膜，该振膜设置在所述穿孔背板的上方；以及
空气间隙；该空气间隙形成在所述穿孔背板和所述振膜之间，
其中，在所述基底的背孔中形成支撑梁，所述支撑梁支撑在所述背孔的侧壁上，并且所述支撑梁的至少一部分与所述穿孔背板的下表面接触。
2.如权利要求1所述的具有强化结构的MEMS麦克风，其特征在于，
所述基底为硅基底，并且所述穿孔背板由层叠在所述硅基底上并与该硅基底之间夹有氧化层的硅器件层的一部分形成。
3.如权利要求1所述的具有强化结构的MEMS麦克风，其特征在于，
所述穿孔背板由多晶硅形成。
4.如权利要求1所述的具有强化结构的MEMS麦克风，其特征在于，
所述支撑梁为一字梁、多个平行的一字梁、十字梁、井字梁和Y形梁中的一种或多种。
5.如权利要求4所述的具有强化结构的MEMS麦克风，其特征在于，
所述支撑梁为十字梁，并且该十字梁的交叉部与所述穿孔背板的下表面接触。
6.如权利要求4所述的具有强化结构的MEMS麦克风，其特征在于，
所述支撑梁为十字梁，并且该十字梁的整个上表面与所述穿孔背板的下表面接触。
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