[实用新型]具有强化结构的MEMS麦克风

说明书

技术领域

本实用新型涉及麦克风技术领域，具体说，涉及一种具有强化结构的MEMS麦克风。

背景技术

MEMS麦克风，特别是硅基MEMS麦克风，已经研发多年了。MEMS麦克风由于其在小型化、性能、可靠性、环境耐用性、成本和批量生产能力方面的潜在优势而可以广泛地用于许多应用中，诸如手机、平板电脑、相机、助听器、智能玩具以及监视装置。

一般地说，MEMS麦克风包括形成在基底上的振膜和穿孔背板，振膜和穿孔背板在其之间形成有空气间隙，并构成可变空气间隙电容器。在一些MEMS麦克风中，振膜在穿孔背板的下方，而在另一些MEMS中，穿孔背板在振膜的下方。处于下方的振膜或穿孔背板通过形成在基底中的背孔向外部露出。图1是剖视图，示出了现有的一种MEMS麦克风的结构。如图1所示，现有的一种MEMS麦克风100包括基底10、穿孔背板30、隔离件40和振膜50，其中，在基底10与穿孔背板30之间还可以具有衬层20；在基底10中形成有背孔11，以便将穿孔背板30露出；在穿孔背板30中形成有穿孔31，以便使气流能够通过穿孔背板30并在通过穿孔背板30时不会使其发生振动；在穿孔背板30和振膜50之间形成有空气间隙41，空气间隙41以隔离层40作为边界。穿孔背板30和振膜50作为两个电极板构成一个电容器，当振膜50在声波作用下振动时，该电容器的电容随之发生变化，从而可以将声波能量转化为电能，以实现对声波的探测。

在这种MEMS麦克风中，由于穿孔背板30上形成有多个穿孔31，因此，其结构强度相对较弱，在这种MEMS麦克风的使用过程中，由于跌落或大气流通过会很容易地造成穿孔背板30的破碎。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述现有技术中存在的问题而做出的，其目的在于提供一种具有强化结构的MEMS麦克风，以解决该MEMS麦克风在使用过程中由于跌落或大气流通过而造成穿孔背板破碎的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种具有强化结构的MEMS麦克风，其包括：基底，在该基底中形成有背孔；穿孔背板，该穿孔背板支撑在所述基底上并设置在所述基底中的背孔的上方；振膜，该振膜设置在所述穿孔背板的上方；以及空气间隙；该空气间隙形成在所述穿孔背板和所述振膜之间，其中，在所述基底的背孔中形成支撑梁，所述支撑梁支撑在所述背孔的侧壁上，并且所述支撑梁的至少一部分与所述穿孔背板的下表面接触。

优选地，所述基底可以为硅基底，并且所述穿孔背板可以由层叠在所述硅基底上并与该硅基底之间夹有氧化层的硅器件层的一部分形成。

或者，优选地，所述穿孔背板可以由多晶硅形成。

优选地，所述支撑梁可以为一字梁、多个平行的一字梁、十字梁、井字梁和Y形梁中的一种或多种。

在一个例子中，所述支撑梁可以为十字梁，并且该十字梁的交叉部与所述穿孔背板的下表面接触。

在另一个例子中，所述支撑梁可以为十字梁，并且该十字梁的整个上表面与所述穿孔背板的下表面接触。

本实用新型所述的具有强化结构的MEMS麦克风的优点是，由于在该MEMS麦克风的基底上的背孔中一体设置支撑梁以支撑穿孔背板，因此，可以使穿孔背板的结构得到强化，从而可以防止本实用新型所述的MEMS麦克风在使用过程中由于跌落或大气流通过而造成的穿孔背板破碎。

附图说明

图1是剖视图，示出了现有的一种MEMS麦克风的结构；

图2是剖视图，示出了本实用新型的一个实施例所述的MEMS麦克风的结构；

图3是透视图，示出了本实用新型的一个实施例所述的MEMS麦克风基底背孔中的支撑梁结构；以及

图4是透视图，示出了本实用新型的另一个实施例所述的MEMS麦克风基底背孔中的支撑梁结构。其中，在附图中，

100：现有的MEMS麦克风；

200：本实用新型的一个实施例所述的MEMS麦克风；

10：基底；11：背孔

20：衬层；

30：穿孔背板；31：穿孔；

40：隔离件；41：空气间隙；

50：振膜；

60：支撑梁。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细的描述。