[实用新型]一种PCB板内外层线路量测仪

权利要求书

1.一种PCB板内外层线路量测仪，其特征在于，包括带有光源的偏振干涉共焦显微装置、具有量测功能的工业相机、FPGA相位卡和计算机，所述工业相机用于捕捉所述偏振干涉共焦显微装置产生的测量信号并传送至所述FPGA相位卡，所述FPGA相位卡用于对所述测量信号进行相位测量，将含有PCB板内层或外层线路中待测线条台阶边缘位置信息的相位变化数据传送至所述计算机。

2.根据权利要求1所述的PCB板内外层线路量测仪，其特征在于：所述偏振干涉共焦显微装置包括横向塞曼激光器、分束器、第一探测器、第一透镜、第一针孔、第二透镜、反射棱镜、显微物镜、半透半反镜、检偏器、聚光透镜、第三探测器、第三透镜、第二针孔和第二探测器；其中，所述横向塞曼激光器作为光源发出的一对正交线偏振光，通过所述分束器后分成反射光和透射光，反射光进入所述第一探测器作为参考信号，透射光经过所述第一透镜汇聚到所述第一针孔上，并通过所述第二透镜变成平行光束，平行光束经所述反射棱镜反射后经所述显微物镜被聚焦在所述PCB板上，被聚焦后的光线被所述PCB板反射后再次经所述显微物镜变回平行光，并被所述半透半反镜分成两部分：透射部分通过所述反射棱镜在所述检偏器上发生干涉，干涉光经所述聚光透镜聚焦后进入所述第三探测器产生测量信号，通过与所述第一探测器产生的参考信号进行比相位测量，得到台阶边缘相位变化信息；反射部分由所述第三透镜汇聚到所述第二针孔上，由所述第二探测器接收得到光强信号。

3.根据权利要求2所述的PCB板内外层线路量测仪，其特征在于：所述横向塞曼激光器为低频差横向塞曼He-Ne激光器。

4.根据权利要求2所述的PCB板内外层线路量测仪，其特征在于：所述反射棱镜为半孔径反射棱镜。

5.根据权利要求2所述的PCB板内外层线路量测仪，其特征在于：所述第二探测器产生的光强信号经由一锁相放大器放大后传送至所述计算机。